판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9028335

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ID: 9028335
CMP system Has run Oxide and Cu Currently in storage Can be inspected 1998 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472는 반도체 산업에 널리 사용되는 다기능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 12 또는 15 인치 (wafer equivalent) 의 모든 프로세스를 지원하며 저용량 (low-volume) 및 대용량 (high-volume) 생산에 모두 적합합니다. 이 장치에는 7 축 프로그래밍 가능한 컨트롤과 힘 피드백 머신 (force feedback machine) 이 장착되어 일관된 연삭 압력을 보장합니다. IPEC 472에는 다양한 그라인딩 휠 (grinding wheel) 과 다이아몬드 랩핑 디스크 (diamond lapping disc) 가 장착되어 있어 웨이퍼를 세밀하게 분쇄하여 정밀도를 높입니다. 인체 공학적, 직관적 인 설계로 인해 그라인딩 (grinding) 과 랩핑 (lapping) 프로세스를 신속하고 사용자 개입 없이 전환 할 수 있습니다. 이 도구는 부드럽고 섬세한 재료를 연마하기 위한 고성능 슬러리 에셋 (slurry asset) 과 기판의 심각한 증착 및 클리닝 (cleaning) 을 통해 최적의 마무리를 만들 수 있도록 설계되었습니다. WESTECH 472는 실리콘, III-V 화합물, SiGe, InP 및 GaAs 및 일부 강자성 물질과 같은 다양한 재료에 적합합니다. 이 모델은 또한 웨이퍼 캐리어, 오픈 노즐 및 폐쇄 노즐 연마 처리 기능을 갖추고 있습니다. 472 는 다운타임을 최소화하면서 정확하고, 품질이 높고, 균일한 표면 마무리를 실현할 수 있는 강력한 툴입니다. 통합 진단 장비 (Diagnostics Equipment) 와 경보 기능 (Alarm Function) 을 통해 사용자는 프로세스를 지연시킬 수 있는 문제를 신속하게 감지하고 확인할 수 있습니다. 또한, 모듈식 설계로 인해 향후 업그레이드, 유지 관리, 확장이 매우 쉬워집니다. 요컨대, SPEEDFAM 472는 반도체 산업을위한 신뢰할 수 있고, 정확하며, 다재다능한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다.
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