판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M #9191784

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372M은 실리콘 및 기타 복합 반도체 재료를위한 다기능 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 고급 미세 연삭 (microseismic grinding) 기술을 사용하여 직경이 최대 12 "인 실리콘 웨이퍼에서 깨끗하고 부드러운 표면을 생성합니다. 이 장치에는 prober, grinder 및 lapping/polishing 스테이션의 3 가지 하위 시스템이 있습니다. Prober는 PC 및 PCI 버스 19 "랙 장착 데이터 획득 하드웨어와 상호 작용하면서 웨이퍼 표면 지형을 테스트하고 이상을 감지 할 수 있습니다. 분당 최대 6 개의 웨이퍼를, 최대 94 개의 웨이퍼를 운송 할 수 있습니다. 또한 1/2 hp DC 모터 드라이브, 4 방향 수동 시프트를 갖춘 30 "X 30" 스틸 NEMA 12 플랫폼 및 웨이퍼의 빠르고 정확한 처리를 위해 4 축 모션 컨트롤이 있습니다. 그라인더 서브시스템은 고급 고속, 고정밀 그라인더를 사용하여 균일성 (unifority) 및 제품 품질을 향상시키면서 웨이퍼 생산 시간을 줄입니다. 이 그라인더는 4 축에서 6 축 CNC 제어기로 5 축에서 4 축에 걸쳐 36 개의 전동 단계를 사용합니다. 또한 300mm X 50mm X 35mm 그라인딩 플랫폼, 정밀 선형 베어링 및 이중 베어링 자동화가 있습니다. 정확도는 0.1 미크론 이내이며 총 연삭 용량은 분당 330mm입니다. 랩핑/폴리싱 스테이션은 웨이퍼의 정밀 랩핑 및 연마를위한 2 개의 로봇 서브 시스템을 사용합니다. 또한 수중 히터와 클로즈드 루프 (closed-loop) 흐름 도구를 갖춘 따뜻한 물 냉각을 사용하여 효율적인 냉각 동작을 수행합니다. 랩핑/광택 스테이션에는 6 개의 다이아몬드 그라인딩 프리-폴리스 헤드, 디지털 컨트롤러 및 다양한 그라인딩 및 연마 필름이 있습니다. 총 연마 용량은 분당 28mm입니다. IPEC 372M 은 최고 품질의 반도체 웨이퍼 (wafer) 를 장기간 생산할 때 탁월한 성능을 자랑하는 최첨단 머신입니다. 그것 은 이상적 인 "웨이퍼 '연삭 및 연마 기계 로서, 정밀 한 표면 연삭, 절단, 연마 등 을 포함 하여 광범위 한" 서비스' 를 제공 한다. 이 기계는 최고 수준의 정확성과 반복성 (repeatability) 을 제공하도록 설계되었으며, 운영 프로세스의 일관된 품질과 성능을 보장합니다.