판매용 중고 HEAVY SMOKER HVS-100 #293590870

HEAVY SMOKER HVS-100
ID: 293590870
Grinding machine.
헤비 스모커 HVS-100 (HEAVY SMOKER HVS-100) 은 최대 100mm 직경의 반도체 웨이퍼를 정확하게 다듬도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 2 개의 표면을 연마하고 랩핑하여 서브 미크론 (sub-micron) 과 나노 미터 (nanometer) 정확도로 매우 평평한 표면 마무리를 달성하기 위해 반도체 제조 및 전자 장치 제조 (electronic device manufacturing) 와 같은 응용 분야에 이상적입니다. 연삭, 랩핑 및 연마 과정은 최적의 평면도 및 표면 프로파일을위한 사전 연삭 (pre-grinding) 을 겪고있는 웨이퍼로 시작됩니다. 이것은 조정 가능한 스핀들 속도 및 분쇄 압력이있는 자동 다이아몬드 분쇄 장치 (automated diamond grinding unit) 를 사용하여 달성됩니다. 회전 다이아몬드 그라인딩 휠 (rotating diamond grinding wheel) 이 일반적으로 사용되며, 이는 광범위한 그라인딩, 랩핑 및 연마 기능을 제공 할 수 있습니다. 일단, 지면 이 원하는 평평 함 에 접지 되면, "랩핑 '하고 연마 하는 일 을 계속 할 때 가 된다. 이것은 정밀 랩핑 플레이트 (lapping plate) 와 다이아몬드 연마제 (diamond alrasive imprregnated lap) 를 사용하여 표면 불규칙성을 줄이고 웨이퍼 표면을 매끄럽게함으로써 달성됩니다. 필요한 랩핑 및 연마 시간의 양은 응용 프로그램의 서피스 마무리 정렬 (surface finish alignment) 요구 사항에 따라 다릅니다. 최적의 결과를 얻기 위해, 전체 공정에서 다양한 서브 미크론 다이아몬드 연마제를 사용할 수 있습니다. HVS-100에는 자동 연마 프로세스를 허용하는 프로그래밍 가능한 제어 기계도 포함되어 있습니다. 여기에는 처리 레시피 설정, 스핀들 속도 제어, 압력 및 연마 시간이 포함됩니다. 이렇게 하면 일관된 프로세스와 최적의 평면도 및 서피스 마무리 정렬이 가능합니다. 이 올인원 (All-in-one) 도구는 고정밀도 어플리케이션과 초슬림형 웨이퍼 연마 요구 사항으로 뛰어난 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 헤비 스모커 HVS-100 (HEAVY SMOKER HVS-100) 은 최소한의 수동 개입으로 빠르고 신뢰할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마를 제공합니다. 이 자산은 반도체 제작, 기판 제작, 기타 여러 정밀 응용 분야에 이상적입니다.
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