판매용 중고 HARIG 612 #9390527

HARIG 612는 표면 평평함, 두께 변형 및 표면, 코너 및 가장자리 품질 광택을 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 광택 장비입니다. 반도체 업계를 위해 정밀하게 완성된 웨이퍼를 생산하기 위해 특별히 설계된 올인원 (All-in-One) 웨이퍼 마감 시스템입니다. 612 단위에는 두 가지 주요 구성 요소 (정밀 웨이퍼 그라인더 및 회전 연마 암 부착) 가 포함됩니다. 웨이퍼 그라인더는 전동 스핀들 베이스와 12 인치 직경 플래튼 (platen) 으로 구성되며, 이는 디지털 컨트롤 머신에 연결된 무거운 정밀 스핀들 모터로 구동됩니다. 플래튼 (platen) 의 표면은 프로세스 제어에 맞게 조정이 가능하며, 여러 층의 필터 페이퍼 (filter paper) 는 입자가 주변 환경을 오염시키지 않도록 유지합니다. 그라인더는 또한 내장 공기 필터 (air-in air filter) 와 배기 팬 (exhaust fan) 을 사용하여 연삭 공정으로 생성 된 가열된 공기를 분출합니다. 회전식 연마 암 (rotary polishing arm) 은 웨이퍼의 깊이를 제어하기위한 정밀 광학으로 제작되었으며, 연마 속도를 조정하기위한 반 정적 다이얼 (anti-static dial) 이 포함되어 있습니다. 팔에는 랩핑 및 그라인딩을위한 600 그릿 다이아몬드 휠이 있으며, 회전 속도는 최대 300 rpm입니다. "다이아몬드 '바퀴 를 밀봉 하여 먼지 가 연삭실 에 들어가지 못하게 한다. 팔 에는 "웨이퍼 '의 얼굴 에서 연마 입자 들 을 빨아내기 위한 진공 (vacuum) 과" 웨이퍼' 의 두께 와 표면 무늬 를 확인 하기 위한 발광 "다이오드 '가 들어 있다. 얇은 균일 한 연삭 과 "랩핑 '층 이 달성 되면," 웨이퍼' 는 연마 할 준비 가 된다. 하리그 612 (HARIG 612) 는 압축 공기, 콜로이드 실리카, 탈이온화 된 물의 조합을 사용하여 정확한 마무리를 달성하는 부드러운 연마 도구를 사용합니다. 연한 연마 자산은 저압 공기 (low pressure air), 콜로이드 실리카 (coloidal silica) 및 탈 이온 화 된 물의 조합을 사용하여 크고 표면에 도달하기 어렵다. 공기필터· 배기가스 (배기가스) 모델도 연마 과정에서 발생하는 가열된 공기를 꺼내 환경을 보호한다. 마지막으로, 기계에 스핀 코터를 추가하여 연마 과정을 더 개선 할 수 있습니다. 스핀 코터 (spin-coater) 는 웨이퍼 (wafer) 에서 연마 물질을 균등하게 커버하여 일관성 및 광택 균일성을 높입니다. 612 장비는 빠르고, 안정적이며, 일관된 방법으로 웨이퍼를 마무리하고, 최고 수준의 품질 제어를 보장합니다. 이 기계는 다재다능하고, 사용자 친화적이며, 작동하기 쉽고, 먼지와 입자 없는 작업 환경에 높은 수준의 깨끗함을 제공합니다.