판매용 중고 GUANGDONG FUSAN FXM-11 / FPG-9 #9093622
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GUANGDONG FUSAN FXM-11/FPG-9는 집적 회로 제작을위한 고품질, 생산 수준 기판을 생산하도록 설계된 완전 자동 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템에는 프로덕션 모니터링, 매개변수 조정, 터치스크린 디스플레이 (Touchscreen Display) 를 통해 저장된 레시피 보기 등을 간편하게 제어할 수 있습니다. 주요 구성 요소로는 스핀들, 웨이퍼 전송, 샘플 처리, 자동 그라인딩/랩핑/연마 헤드 및 EDS (Edge Detection Unit) 가 있습니다. 연삭 응용 프로그램의 경우 FXM-11/FPG-9에는 연마 슬러리의 움직임을 정확하게 제어하는 Macro Auto Line Analyzer가 있습니다. 또한 소음이 적고 안전성이 향상 된 연마 소음 감소가 내장되어 있습니다. 이 시스템은 고객의 요구 사항을 효과적으로 충족할 수 있도록 사용자 지정 가능한 프로세스 레시피를 제공합니다. 예를 들어, 그라인딩 방법은 특정 웨이퍼 형상, 기판 요구사항, 프로세스 구속에 따라 설정할 수 있습니다. EDS (Edge Detection Tool) 는 GUANGDONG FUSAN FXM-11/FPG-9의 주요 기능입니다. 이 자산은 반전 된 나이프 엣지 (knife edge) 를 사용하여 측면 거칠기를 모니터링하여 표면 평탄도를 0.5 µm 이내로 감지합니다. 또한 EDS는 가장자리 감지 포인트의 화면 그래프를 제공하고 그라인딩 스트로크에 대한 정확한 제어를 제공합니다. 안전 측정으로, 나이프 엣지 (Knife Edge) 가 샘플의 균열이나 칩을 감지하면 모델에 음향 경고가 표시됩니다. 웨이퍼 전송 장비 (wafer transfer equipment) 는 광택 된 웨이퍼를 오염없이 다음 공정으로 균일하게 옮깁니다. FXM-11/FPG-9의 샘플 처리는 품질이 저하되지 않고 시스템 속도를 최대화하도록 설계되었습니다. 입자 오염을 최소화하면서 최대 8 인치까지 샘플 크기를 수용 할 수 있습니다. 간단히 말해, GUANGDONG FUSAN의 GUANGDONG FUSAN FXM-11/FPG-9는 정확성과 효율성의 탁월한 조합으로 웨이퍼의 생산 연삭, 랩 및 연마에 이상적인 솔루션입니다. 업계 전문가가 다양한 기능과 기능을 통해 최소한의 노력으로 정확하고, 고품질 기판을 생산할 수 있습니다. 또한, 하이엔드 안전 (High-End Safety) 기능을 통해 광범위한 운영 환경에서 사용할 수 있습니다.
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