판매용 중고 GMN MPS 2 R300 #9162225

ID: 9162225
빈티지: 1988
Wafer grinder 1988 vintage.
GMN MPS 2 R300은 반도체 산업의 응용 분야에 사용되는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 모서리의 뛰어난 서피스 마무리 및 고정밀 그라인딩을 제공합니다. 이 장치 에는 안전 하고 정확 한 연삭 을 위해 "와퍼 '를 연삭" 테이블' 에 정확 하게 배치 하는 "로봇 '기계 가 들어 있다. 이 도구는 또한 웨이퍼를 단단히 고정하고 대형 웨이퍼를 연마, 랩핑, 연마 할 수있는 진공 침대 (vacuum bed) 를 갖추고 있습니다. 에셋에는 두 개의 그라인딩 헤드 (grinding head) 가 있으며, 각각 강력한 모터로 구동되며 각 헤드에 최대 500W의 전력을 공급합니다. 이를 통해 사용자는 여러 웨이퍼를 동시에, 빠르게 갈아서 랩할 수 있습니다. 이 모델에는 조정 가능한 공압 정지 (adjustable pneumatic stop) 가 장착되어 있으며, 필요한 정확한 위치에서 연삭 디스크를 중지합니다. 연삭 머리 에는 "다이아몬드 '연삭" 디스크' 가 높아서 "웨이퍼 '가장자리 에서 정확 한 연삭 을 할 수 있다. 연삭 헤드는 또한 최적의 연삭 성능을 위해 통합 압축 공기 냉각을 제공합니다. 장비에는 단면 및 양면 랩핑 작업을위한 랩핑 테이블이 포함됩니다. 이 테이블에는 고정밀 랩핑 (high-precision lapping) 메커니즘이 장착되어 있으며, 조정이 가능하므로 응용 프로그램에 맞게 랩 각도와 속도를 조정할 수 있습니다. 이 시스템에는 웨이퍼 모서리를 연마하기위한 광택이 장착되어 있습니다. 광택제 (polisher) 는 거칠음을 제거하고 최종 모서리 프로파일을 개선하기 위해 높은 수준의 연마 (polishing) 를 달성하도록 설계되었습니다. 이 장치는 직경이 최대 300mm 인 파퍼를 연삭, 랩핑 및 연마 할 수 있습니다. 기계에는 최종 처리 전에 웨이퍼 (wafer) 표면을 검사할 수있는 고해상도 광학 현미경이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 다음 단계로 진행하기 전에 모든 서피스 결함을 식별할 수 있습니다. MPS 2 R300 은 안정적이고 효율적인 툴로서 다양한 wafer grinding, lapping 및 polishing 애플리케이션에 사용할 수 있습니다. 이 자산은 고정밀도 및 속도를 제공하여 모든 반도체 제작 프로세스에 이상적입니다. 이 모델은 사용하기 쉽고, 사용자의 요구에 맞게 신속하게 구성할 수 있습니다.
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