판매용 중고 GIGAMAT 3826 #9143786

GIGAMAT 3826은 반도체 응용 프로그램을위한 강력한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 3826의 핵심에는 강력한 그라인딩 및 연마 헤드가 장착 된 그라인드 라스프 폴 (grind-lasp-pol) 플랫폼에 연결된 LoadLock 카세트 로더가 있습니다. 이 설치 프로그램은 빠른 샘플 로딩 및 언로드뿐 아니라, 높은 마이크로마이닝 기능을 제공합니다. 고급 웨이퍼 클램핑 (Clamping) 및 드라이브 시스템 (Drive System) 은 신뢰할 수 있는 연삭 및 연마 기능을 완벽하게 제어합니다. 최신 가변 주파수 드라이브 (Variable Frequency Drive) 기술과 결합된 고도의 제어 및 정밀도는 GIGAMAT 3826을 통해 최적의 표면 마무리 결과를 얻을 수 있습니다. 이것은 민감한 웨이퍼 생산 응용 프로그램에 완벽한 선택입니다. 그라인드 헤드는 6.6kW 브러시리스 (brushless) 모터로 구동되며, 높은 정밀도 및 반복성을 위해 고급 스핀들 강성 및 진동 감쇠가 특징입니다. 최대 연삭 전력에 DC 6.6kW 터보 모터 옵션도 제공됩니다. 이 시스템에는 빠른 공구 변경을위한 낮은 관성 RCS (Rapid Change Unit) 와 효율적인 먼지 수집을위한 PRS (Powder Recirculation Machine) 가 있습니다. 3826 랩핑 및 연마 플랫폼에는 2 개의 초음파 랩핑 헤드가 있으며, 최대 5kHz 진폭이 가능하며 최대 12kHz까지 조절 할 수 있습니다. 강력한 75HP ac servomotor는 랩핑 도구를 정확한 원형 동작으로 구동하기 위해 통합되었으며, 다중 랩핑 (multiple-lapping) 프로세스에서 뛰어난 일관성을 제공합니다. 고급 제어 도구는 반복 가능한 결과를 보장합니다. 다듬기를 위해 GIGAMAT 3826에는 혁신적인 압력 제어 자산이 장착되어 있습니다. 이 모델은 특허받은 3 점 지원 장비 (5g ~ 500g) 를 사용하여 샘플에서 완벽하게 균등한 압력을 가합니다. 지능형 제어 시스템 (Intelligent Control System) 은 크기, 모양, 서피스 마무리 요구 사항 및 재료를 기준으로 샘플에 압력을 조정합니다. 3826은 가장 힘든 반도체 응용 프로그램을위한 신뢰할 수있는, 고성능 연삭, 랩핑 및 연마 장치입니다. 고급 드라이브 및 제어 시스템은 반복 가능하고 안정적인 결과를 보장합니다. 압력 조절 기계는 일관된 표면 마무리에 대한 압력을 연마합니다. 이것은 가장 어려운 생산 프로세스에 이상적인 선택입니다.