판매용 중고 GATAN / SAGITTA Gemini CX #9131544

GATAN/SAGITTA Gemini CX는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비의 조합입니다. 단일 웨이퍼 프로세스를 위해 특별히 설계되었습니다. 이 시스템은 다중 단계이며 프로세스를 완료하려면 5 개의 부품이 필요합니다. 첫 번째 단계는 다이아몬드 그라인딩 미디어로 웨이퍼 그라인딩입니다. 이것은 그라인딩 액션을 사용하여 그레인 크기를 줄이고 균일 한 표면 마무리를 보장합니다. 두 번째 단계는 평평함 (flatness) 이나 모양 (shape) 을 바꾸지 않고 표면을 연마하고 매끄럽게하는 다이아몬드 랩핑 미디어의 저압 응용 프로그램으로 랩핑됩니다. 세 번째 단계는 연마입니다. 이것은 연마형 슬러리를 사용하여 서피스 거칠기를 줄이고 평면화 된 서피스를 생성합니다. 네 번째 단계는 표면 균일성을 다듬는 다이아몬드 랩핑 미디어 (diamond lapping media) 의 고압 적용으로 랩핑됩니다. 다섯 번째이자 마지막 단계는 화학 기계 연마이며, 활성 화학 용액을 사용합니다. 이 단계 는 표면 을 깨끗 이 하고, 연마 시간 을 줄이며, "웨이퍼 '를 반도체 장치 에 적합 하게 만드는 유전층 을 만든다. GATAN Gemini CX 장치의 주요 구성 요소는 연삭/연마 장치, 전기 기계 운동 및 반자동 컨트롤입니다. 연삭/연마 장치는 한 번에 하나의 웨이퍼를 잡고 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼 척, 패드 홀더, 다이아몬드 연마 매체가 장착되어 있습니다. 전기 기계 운동 은 "스텝 '" 모우터' 에 의하여 제공 되며 기계 는 "마이크로프로세서 '에 의하여 제어 된다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '의 정확 한 움직임 과 정렬 과 함께 회전 속도 와 압력 을 정확 하게 조절 할 수 있다. 이 컨트롤은 프로세스에 대한 피드백을 제공하고, 변수와 매개변수를 제어할 수 있는 사용자 입력 옵션을 제공합니다. 이 도구는 사전 설정 매개 변수를 사용하여 자동으로 웨이퍼를 그라인드하고 (Grind and Polish) 하는 자동화된 프로세스를 실행할 수도 있습니다. SAGITTA Gemini CX 자산은 비용 효율적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 모델로, 우수한 결과를 낼 수 있습니다. 단일 웨이퍼 작업에 사용하도록 설계되었으며, 매우 자동화되어 있습니다. 중공업 (heavy-duty) 구조로 제작되었으며 정확성과 일관된 결과를 보장하도록 설계된 다양한 기능이 있습니다. 자동화된 프로세스 (automated process) 는 사용하기 쉽고, 다양한 표면 요구 사항에 대해 다양한 속도와 압력을 달성하는 데 사용될 수 있습니다.