판매용 중고 G&N MPS R400 #293645363

G&N MPS R400은 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마를위한 고급 자동 장비입니다. 대형 또는 소형 웨이퍼의 단일 및 다중 패스 응용 프로그램 모두를 위해 설계되었으며, 최대 4 "사각형, 최대 8" 라운드 또는 6 "사각형의 기판을 제공합니다. MPS R400은 robolap의 표준 구성을 특징으로하며, 연속적인 프로세스 서피스 사이에서 로봇으로 웨이퍼를 이동합니다. 즉, 수동 처리, 처리량 및 일관성 향상, 인적 오류 감소 등이 없습니다. 또한 균일 한 연삭, 랩핑 및 연마를 보장하는 정확하게 선택되고 개별적으로 모양의 연마 패드 및 다이아몬드 서스펜션을 통해 더 높은 공정 보안을 보장합니다. G&N MPS R400에는 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 정확하게 조정하는 클로즈드 루프 (closed-loop) 피드백 시스템이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 일관되고 정확한 제거 속도가 가능하며, 프로세스 시간이 크게 단축됩니다. 또한, 이 장치에는 프로세스 서명 및 설정 알림을 기록하는 레시피 기반 데이터 로깅 기능이 포함되어 있습니다. 이 기계는 현미경, 고압 주입 및 여과 장치, 진동 격리 (옵션) 와 같은 액세서리를 장착하여 재료 뷔페팅 (buffeting) 및 표면 손상을 방지함으로써 더욱 최적화 될 수 있습니다. 또한, 진공 웨이퍼 척 (옵션) 은 특히 매우 얇은 웨이퍼의 경우 더 높은 수율을 보장합니다. MPS R400은 클러스터 연마 연마 및 울트라 나노 (Ultra-Nano) 연마를 포함한 고급 연마 기술로 표면 마무리 달성을받을 수 있습니다. 높은 처리 속도와 높은 수준의 정밀도 및 신뢰성을 제공합니다. 즉, 높은 수준의 정밀도 (precision) 및 안정성 (안정성) 을 제공하므로 최적화된 웨이퍼 (wafer) 정렬 및 원형 매개변수를 위해 설계된 통합 계획 툴과 견고한 산업용 빌드 품질이 결합됩니다. 마지막으로, 자산은 안전 (safety) 을 염두에 두고 설계되었는데, 이는 운영자와 주변 환경의 안전을 보장하기 위한 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼이 특징입니다. 전체적으로, G&N MPS R400은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마를위한 안정적이고 고품질 기계이며, 반복 가능하고 안정적인 결과를 제공합니다.