판매용 중고 G&N MPS 3H132 #9199461
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G&N MPS 3H132는 Technica G & N이 개발 한 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 반도체 업계의 까다로운 요구를 충족시키기 위해 설계된 이 시스템은 "스핀들 400 (Spindle 400) '이라는 통합 드라이브 장치 덕분에 탁월한 처리 성능을 자랑합니다. 기계의 그라인딩 스핀들 (grinding spindle) 은 최대 출력이 7.5Kw 인 강력하고 정밀한 직류 모터 (direct-current motor) 로 구동되어 웨이퍼의 정확한 표면 처리가 가능합니다. 이 모터는 냉각된 소매 베어링과 함께 독특한 6 롤러 베어링 도구로 더욱 향상되었습니다. 이것 은 "그라인딩 스핀들 '이 최소 의 마모 로 장기간 동안 안정적 으로 작동 하도록 한다. 자산은 또한 고급 랩핑 단계, 웨이퍼 그라인딩 및 연마 공정의 하위 시스템을 사용합니다. 이 단계 (stage) 는 가공 된 웨이퍼 서피스가 더 일관성 있는 서피스 마무리로 매끄럽고 균일하도록 도와줍니다. 이를 위해 모델은 G&N 골드 도금 3 롤러 랩핑 기술을 사용합니다. 연마 단계에서 기울기 (tilt) 및 회전 기능이 있는 통합 7축 드라이브 장비는 웨이퍼 (wafer) 표면의 마모형 미디어를 로컬로 조정합니다. 이를 통해 미디어가 가하는 속도와 압력 (pressure) 이 정확하게 바뀔 수 있으므로 뛰어난 연마 성능을 얻을 수 있습니다. 마지막으로, MPS 3H132 의 통합 프로세스 제어 시스템 (Integrated Process Control System) 은 운영자에게 장치 작동에 대한 포괄적 개요를 제공합니다. 이렇게 하면 프로세스 중에 매개변수를 빠르게 조정하고 최적화할 수 있습니다. 전반적으로 G&N MPS 3H132는 뛰어난 정확성과 반복성을 가진 고도의 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 직류 모터 (direct-current motor) 와 고급 공정 제어 도구 (advanced process control tool) 덕분에 빠른 속도와 최소 마모의 성능을 발휘할 수 있습니다. 이것은 가장 정확한 반도체 응용 프로그램 처리에 완벽한 선택입니다.
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