판매용 중고 G&N MPS 3-132 #9227857
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G&N MPS 3-132는 반도체 웨이퍼에 대한 최적의 표면 정밀도를 달성하기 위해 G&N (Groepler & Narly) 이 개발하고 제조 한 고급 현대 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 기계는 반도체/IC 산업의 정확한 표면 사양에 웨이퍼를 연삭, 랩핑, 연마 (연마) 하여 웨이퍼 제조 공정의 효율성을 높일 것을 약속합니다. 갈륨 비소 (GaAs) 웨이퍼, 실리콘 (Si), 페라이트 (NiFeSi), 쿼츠 (SiO2), 사파이어 (Al2O3), 다이아몬드 (C) 및 기타 여러 재료와 같은 연삭 및 랩 장치에 적합합니다. MPS 3-132 시스템은 3단계 프로세스를 기반으로 합니다. 첫 번째 단계 는 "다이아몬드 '연삭" 휠' 을 사용 하여 "웨이퍼 '의 크기 를 특정 한 사양 으로 줄이는 것 이다. 또한 이 단계에 포함된 냉각 장치 (cooling unit) 를 사용하여 웨이퍼의 절삭 온도가 지정된 범위 내에 유지되도록 합니다. 다음으로, 랩핑 단계 (lapping step) 는 미리 정해진 모양과 서피스 짝수 레벨을 달성하기 위해 웨이퍼 서피스를 닦습니다. 이것은 다른 연마제 (grits) 로 일련의 연속 랩 연산을 적용함으로써 달성됩니다. 마지막으로, 연마 단계는 프로세스를 완료하고 웨이퍼 (wafer) 양쪽에 거울 모양의 마무리를 생성합니다. 기계는 제어 장치, 연삭 및 랩핑 기계, 연마기로 구성됩니다. 기계체는 안정적이고 진동이없는 작동 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 그라인딩과 연마 휠 사이를 쉽게 전환하기위한 수동 포탑이 포함되어 있습니다. 또한 2 개의 웨이퍼를 동시에 처리하기 위해 Double Floating Lapping 및 Polishing 장치가 장착되어 있습니다. 또한 웨이퍼의 정확한 위치 지정 및 정렬을위한 빠른 리턴 도구 (Fast Return Tool) 와 먼지 및 오염으로부터 연마 표면을 보호하기위한 특수 코팅 에셋 (coating asset) 이 있습니다. G&N MPS 3-132 머신은 고급 구성 요소로 제작되었으며 최신 제조 기술을 사용합니다. 또한 와퍼 제조 공정 전반에 걸쳐 완벽한 제어와 정확성을 보장하는 높은 정밀 설계 (precision design and construction) 를 갖추고 있습니다. 게다가, 이 모델은 구성/사용이 매우 간편하여 소규모/대규모 운영 환경에 모두 적합합니다. 그 장비 의 전반적 인 설계 는 여러 가지 "웨이퍼 '크기 와 재질 로 작동 하여 융통성 있는 생산" 런' 을 할 수 있도록 하는 것 이다. 요약하면, MPS 3-132는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기능을위한 고급 정밀 시스템으로, 최고의 유연성과 뛰어난 마무리와 정확성을 제공합니다.
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