판매용 중고 G&N MPS 2-134 #9227858

G&N MPS 2-134 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비 (MPS 2-134) 는 집적 회로 (IC) 및 기판 웨이퍼의 연삭 및 연마를 위해 설계된 혁신적인 제품입니다. 이 시스템은 프로세스 정확도, 반복성, 처리량을 높일 수 있는 다양한 주변 장치 (peripheral) 구성요소로 구성되어 있습니다. 이 장치는 가장 높은 반도체 제조 요구 사항을 위해 매우 정확한 웨이퍼 제작을 위해 설계되었습니다. G&N MPS 2-134는 웨이퍼 연삭 및 연마를위한 독특하고 견고하며 안정적인 프로세스를 제공합니다. 이 기계에는 연삭 휠과 연마 패드로 구성된 2 단계 연삭/연마 장치가 장착되어 있습니다. 그라인딩 휠은 다이아몬드 또는 cBN 연마재로 만들어집니다. 그것 은 매우 정확성 과 반복성 을 지닌 두꺼운 "웨이퍼 '뿐 아니라 신속 한" 그라인딩' 을 위해 설계 되었다. 두 번째 단계는 웨이퍼 표면을 연마하기위한 화학/기계 (CMP) 버핑 프로세스입니다. 연마 단계 는 "웨이퍼 '의 재료 와 특징 에 적절 한 연마" 슬러리' 를 사용 하여 수행 된다. MPS 2-134는 연삭 및 연마 프로세스를 정확하게 제어합니다. 이 장치에는 자동 간격 조정 (automatic gap adjustment) 기능이 있으며 연삭 휠 (grinding wheel) 과 웨이퍼 (wafer) 사이의 간격 너비를 측정하여 최적의 프로세스 정확도를 보장할 수 있습니다. 또한 이 기능은 특정 응용 프로그램에 대한 최적의 프로세스 매개변수를 설정하는 데 도움이 됩니다. 이 장치에는 DCS (Distributed Control Tool) 아키텍처를 사용한 고급 프로세스 제어 (Advanced Process Control) 가 포함되어 있어 연삭 및 연마 프로세스의 원격 모니터링 및 제어가 가능합니다. 또한 G&N MPS 2-134 는 자산이 자동화된 보호 모델과 긴급 정지 회로 (Emergency Stop Circuit) 를 갖추고 있으므로 운영자에게 향상된 안전 기능을 제공합니다. 이 기능은 '장비 사용 중' 사고로부터 사용자를 보호하는 데 도움이 됩니다. 연삭 및 연마 프로세스의 효율성을 극대화하기 위해 MPS 2-134는 고유 한 버핑 슬러리 및 버핑 패드 홀더를 사용합니다. 동력 장치 가 장착 된 "홀더 '는" 패드' 와 "슬러리 컨테이너 '를 빠르고 쉽게 적재 및 언로드 할 수 있다. 이 기능은 슬러리 (slurry) 및 패드 (pad) 를 변경하는 동안 발생할 수 있는 시간 손실을 제거하므로 생산성, 처리량, 프로세스 반복성이 향상됩니다. 전반적으로 G&N MPS 2-134는 반도체 제조의 까다로운 요구를 충족시키기 위해 설계된 혁신적인 시스템입니다. 이 장치는 웨이퍼 그라인딩 (Wafer Grinding), 랩핑 (Lapping) 및 연마 (Polishing) 프로세스를 독특하고 견고하게 제어하여 가장 고급 응용 프로그램의 최고 품질의 웨이퍼를 보장합니다.