판매용 중고 G&N MPS 132 / MPS 134 #9227754
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G&N MPS 132/MPS 134는 광범위한 웨이퍼 준비 프로세스를 수행하도록 설계된 강력한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 소잉 (sawing), 그라인딩 (grinding), 백라이닝 (back-thinning), 엣지 그라인딩 (edge-grinding), 백-픽싱 (back-polishing), 프론트-폴링 (front-polishing) 등 다양한 재료 처리 응용 프로그램에 이상적인 기능을 갖춘 모듈 시스템입니다. 이 장치에는 정밀 스테이지, 선형 드라이브, 고해상도 인코더가 장착되어 있으며, 원하는 목표 위치에서 2 ½ ms 이내에 웨이퍼를 배치할 수 있습니다. 이 기계는 또한 스틱 프리 에어 베어링 (Stiction-Free Air Bearing) 을 특징으로하여 동작 작동과 매끄럽고 반복 가능한 동작 프로파일의 높은 정확성을 보장합니다. MPS 134에는 연삭 및 연마 과정을 분석하는 데 사용할 수있는 '포스트 모템 스캔 (post mortem scan)' 이라는 분석 도구가 장착되어 있습니다. 최대 1.8mm 높이의 웨이퍼 (wafer) 를 고정밀 그루빙할 수있는 거친 그루브 (grooving) 도구가 장착되어 있습니다. 이 자산은 우수한 웨이퍼 편평성을 달성하기 위해 멀티 휠 기술을 사용합니다. 모델의 고유한 설계를 통해 단일 웨이퍼에 대해 최대 4 개의 개별 그라인딩/랩 (grinding/lapping) 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 이것은 연삭/랩/연마 프로세스를 정확하게 제어 할 수있는 고급 모션 컨트롤 장비 (advanced motion control equipment) 의 통합을 통해 수행됩니다. MPS 134 는 "웨이퍼 '의 표면 거칠기 를 측정 하는 데 사용 되는 정밀 측정 장치 를 갖추고 있다. 이 장치에는 연삭 및 랩핑 중에 웨이퍼 표면에서 큰 압력 변화를 방지하는 인라인 압력 감압 기계 (in-line pressure declivation machine) 가 있습니다. 마지막으로, 이 도구는 운영에 안전한 환경을 제공하는 고급 안전 자산 (advanced safety asset) 을 갖추고 있습니다. MPS 132/MPS 134 는 탁월한 성능을 제공하는 탁월한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 모델로, 다양한 재료 처리 어플리케이션에 적합합니다. 모듈식 설계, 정밀 모션 컨트롤 장비, 다양한 안전 측정으로 인해 웨이퍼 처리 (wafer processing) 작업에 적합합니다.
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