판매용 중고 FULAN PC 200 #293821699

ID: 293821699
빈티지: 2019
Prism chamfer Diameter: 200 mm RPM: 700 1-Axis 2019 vintage.
1. * * 소개 * * FULAN PC 200은 반도체 제조 공정의 고정밀 요구 사항을 충족하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 고급 시스템은 반도체 웨이퍼의 탁월한 평면 (planarity), 두께 제어 (thickness control) 및 표면 마무리 (surface finish) 를 실현하는 포괄적인 솔루션을 제공하여 반도체 장치 생산에서 최적의 성능과 효율성을 보장합니다. 2. * * Wafer Handling * * PC 200은 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스 전반에 걸쳐 와퍼를 정확하고 일관되게 처리하는 강력한 웨이퍼 처리 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계는 고급 로봇 암 (robotic arms) 과 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 를 장착하여 완전로드, 언로드 및 웨이퍼를 전송하여 작동 중 오염 및 손상 위험을 최소화합니다. 3. * * 그라인딩 모듈 * * FULAN PC 200의 그라인딩 모듈은 반도체 웨이퍼의 정확하고 균일 한 두께 축소를 달성하도록 설계되었습니다. 이 모듈은 최첨단 그라인딩 휠 (grinding wheel) 및 제어 알고리즘을 사용하여 단단한 두께 공차를 유지하면서 높은 재료 제거 속도를 제공합니다. 그라인딩 (grinding) 공정은 완전히 자동화되고 프로그래밍 가능하며, 사용자 정의 그라인딩 매개변수가 특정 제조 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다. 4. * * Lapping Module * * PC 200의 랩핑 모듈은 반도체 웨이퍼의 뛰어난 평면 및 표면 평탄성을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 랩핑 플레이트 (lapping plate) 및 슬러리 시스템 (slurry system) 을 사용하여 이 모듈은 웨이퍼 표면에서 균일한 재료를 제거하여 표면 품질이 우수하고 장치 성능이 향상됩니다. 랩핑 (lapping) 프로세스는 제어성이 높고 반복 가능하므로 프로세스 매개변수를 정확하게 조정하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 5. * * Polishing Module * * FULAN PC 200의 연마 모듈은 반도체 웨이퍼에서 초소형 및 결함이 없는 표면을 달성하도록 최적화되었습니다. 최첨단 연마 패드 (polishing pad) 와 화학장치 (chemistry) 를 사용하는 이 모듈은 웨이퍼에 거울과 같은 마무리를 제공하여 장치 생산량 및 신뢰성을 향상시킵니다. 연마 프로세스에는 연마 매개변수를 실시간으로 조정하여 프로세스 성능을 최적화할 수 있는 현장 모니터링 (in-situ monitoring) 및 피드백 (feedback) 시스템이 장착되어 있습니다. 6. * * Process Control * * PC 200에는 Wafer 처리 단계에서 일관되고 안정적인 작동을 보장하는 고급 프로세스 제어 기능이 장착되어 있습니다. 이 도구에는 통합 센서, 모니터링 도구, 피드백 메커니즘 (feedback mechanism) 이 있어 실시간 프로세스 모니터링 및 제어가 가능하므로 프로세스 매개변수의 변형 및 편차에 대한 신속한 응답이 가능합니다. 결과적으로 반도체 제조에서 프로세스 안정성, 재생성 및 생산성이 향상됩니다. 7. * * 사용자 인터페이스 * * FULAN PC 200은 직관적인 탐색 및 작동 기능을 제공하는 사용자 친화적 인터페이스로 설계되었습니다. 에셋에는 프로세스 매개변수, 레시피, 모니터링 도구에 쉽게 액세스할 수 있는 터치스크린 제어판이 있습니다. 또한 데이터 로깅 (Data Logging) 및 분석 (Analysis) 기능을 통해 포괄적인 프로세스 문서화 및 분석을 통해 품질 보증 및 프로세스 최적화를 수행할 수 있습니다. 결론적으로, PC 200은 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 반도체 웨이퍼의 뛰어난 평면, 두께 제어, 표면 마무리를 달성하는 고급 기능을 제공합니다. 강력한 웨이퍼 처리 시스템, 정밀한 프로세스 모듈, 고급 프로세스 제어, 사용자 친화적 인터페이스 등을 갖춘 FULAN PC 200 은 고품질 및 고성능 웨이퍼 처리 솔루션을 원하는 반도체 제조업체를 위한 필수 툴입니다.
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