판매용 중고 EXCEL Micron 618 #170194

EXCEL Micron 618은 효율적이고 사용자 친화적 인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 단일 웨이퍼 처리 (Wafer Processing) 솔루션을 제공하여 짧은 시간 안에 뛰어난 웨이퍼 마무리 및 균일성을 달성합니다. 이 시스템은 프로세스 엔지니어링 (Process Engineering) 및 초정밀도 (Ultra-precision) 기술의 최신 발전을 활용하여 모든 웨이퍼에 대해 탁월한 평면성과 입자가 없는 표면을 보장합니다. 마이크론 618 (Micron 618) 은 높은 생산 처리량으로 웨이퍼 후면과 전면에서 처리 할 수있는 회전 헤드 (rotating-head) 설계를 갖추고 있습니다. 이 장치는 2 개의 고정밀 프로세스 스테이지와 2 개의 제어 가능한 독립 스핀들을 사용합니다. 가변, 더 큰 획 일정 및 가변 속도 제어로 8 "및 12" 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. EXCEL Micron 618의 고급 제어 머신 (advanced control machine) 은 사용자가 정의한 매개변수와 자동 프로세스 최적화를 기반으로 일괄 처리 기능을 제공합니다. 공정을 독립적으로 제어하고 모든 웨이퍼에서 우수한 서피스 마무리 (surface finish) 를 생성합니다. 고급 센서 (Advanced sensor) 는 압력과 토크 (torque) 를 모니터링하여 연마 구슬을 최소한의 마모와 찢음으로 일관된 프로세스를 보장하는 도구에 등장합니다. 마이크론 618 (Micron 618) 은 또한 통합 된 인라인 입자 검사 및 공정 제어를 제공하여 웨이퍼 청결을 최대화하고 잠재적 결함을 최소화합니다. 정밀 연마제 분산 자산은 처리 실에서 일정하고 균일 한 연마 농도를 보장하여보다 균일 한 연마 결과를 허용합니다. EXCEL Micron 618은 원격 모니터링, PC/SCADA 인터페이스 및 자동 로봇 로더와 같은 다양한 자동화 기능도 제공합니다. 이를 통해 모델은 대용량 생산 프로세스에 통합 될 수있는 비용 효율적이고 매우 정확한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 솔루션이 됩니다.