판매용 중고 ENGIS THG-170 #9185382
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ENGIS THG-170 (ENGIS THG-170) 은 한 단계에서 우수한 공정 정밀도로 최대 170mm 의 대형 웨이퍼 직경을 수용 할 수있는 강력한 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 ENGIS Superabrasives (ENGIS Superabrasives) 에서 만든 것으로, 자동화된 작업과 수동 작업을 모두 위한 정확한 결함이 없는 표면을 제공합니다. THG-170 유닛에는 다이아몬드 그라인딩 휠이 장착되어 있으며 평면, 정류 및 계단 알루미나, 석영 및 실리콘 카바이드 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 테이프 접착식 제거와 마찬가지로 추가 준비 및 마무리는 흡수 패드 클리닝 스테이션과 같은 옵션을 통해 ENGIS THG-170 (ENGIS THG-170) 을 통해 수행 할 수 있습니다. THG-170 은 효율성 향상을 위한 견고한 구조적 설계를 갖추고 있어, 가장 정확한 운영 환경에 이상적인 솔루션입니다. 연삭 중 기판 워핑을 감소시키는 플로팅 (floating) 이중 압력 플래튼 (dual-pressure platen) 이 있으며, 정밀하게 균형 잡힌 그라인딩 휠은 프로세스 정확성과 반복성을 보장합니다. 독립 XY-축 (XY-Axis) 변환기를 사용하면 웨이퍼 서피스의 정확한 위치를 정확하게 추적할 수 있습니다. 내장 공기 베어링 스핀들은 뛰어난 그라인딩 정확도와 내장 동적 밸런싱 (dynamic balancing) 을 제공합니다. ENGIS THG-170 의 디지털 컨트롤을 사용하면 프로세스 매개변수 및 조정이 가능한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 프로그램에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 프로세스 반복 기능 및 추적 기능 (Tracking Capability) 이 내장된 무중단 대용량 운영 (Continuous High Volume Production) 에 적합합니다. 추가 프로세스 제어의 경우 THG-170 (THG-170) 에는 웨이퍼 두께를 추적하고 연삭 프로세스를 정확하게 제어하는 정교한 피드백 시스템이 포함되어 있습니다. 전반적으로, ENGIS THG-170 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 도구는 가장 까다로운 생산 운영을 위해 다양하고 신뢰할 수있는 솔루션입니다. 견고성 강화 (Rugged construction), 정확한 연삭 및 랩핑 기능, 종합적인 제어 시스템 등을 갖춘 THG-170 은 운영자 오류를 최소화하면서 효율성이 높은 고품질 프로세스를 제공합니다.
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