판매용 중고 ENGIS JAPAN EJW-460SFN-ARSll #9208850

ENGIS JAPAN EJW-460SFN-ARSll
ID: 9208850
빈티지: 2002
Single side lapper mechine 2002 vintage.
ENGIS JAPAN EJW-460SFN-ARSll은 고성능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 울트라 플랫 그라인딩 (ultra-flat grinding), 랩핑 및 연마 작업을 위한 효율적이고 정확한 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 모노 블록 (monobloc) 설계를 통해 모든 기계 단면을 보다 정확하고 정밀도가 높은 단일 강체 (Rigid Body) 에 통합합니다. 여기에는 특허를받은 루핑 스테인레스 스틸 프레임 (stainless steel frame) 과 디지털 제어 스테퍼 모터로 구동되는 고속 정밀 변속기가 포함됩니다. 이 프레임은 레이저 등급 교차 롤러 가이드 (crossed roller guide) 방식으로 지원되며, 동적 연삭 및 연마 응용 프로그램에 대한 뛰어난 위치 정밀도를 제공합니다. 내장 된 헤드 스톡 (headstock) 과 테일 스톡 (tailstock) 을 사용하면 전체 웨이퍼를 돌리지 않고도 단일 사이드 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업을 효율적으로 수행할 수 있습니다. 또한 2 개의 5mm ~ 65mm 그라인딩 휠, 2 개의 25mm ~ 495mm 랩핑 휠 및 1 개의 200mm 랩핑 다듬기 암이 있으며 각각 자체 전용 작업 플랫폼이 있습니다. 바퀴와 팔은 다양한 응용 분야에 대해 0.1µm 간격으로 정확하게 조정 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 레이저 간섭계 (laser interferometer) 를 사용하여 웨이퍼 프로파일을 실시간으로 측정하는 고정밀 측정 도구를 갖추고 있습니다. 이것은 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 프로세스와 통합되어 웨이퍼의 성능에 대한 정확한 피드백을 제공하고 최적의 정확성과 정확성을 보장합니다. 다른 기능으로는 고속 전달 자산, 자동 로드 및 언로드 (Automated Loading and Unloading), 비상 사태를 방지하기위한 정교한 자동 보호 시스템, 편리한 작동이 가능한 사용자 친화적 인 HMI 등이 있습니다. 전반적으로 EJW-460SFN-ARSll은 웨이퍼의 초정밀 플랫 그라인딩, 랩핑 및 연마에 효과적이고 신뢰할 수있는 모델입니다. 빠르고 정확한 반응, 고성능, 정확한 측정 장비로, 매번 우수한 결과를 얻을 수 있습니다.
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