판매용 중고 ENGIS EKW-4601FN-3AL #9237930

ID: 9237930
빈티지: 2001
Lapping system 2001 vintage.
ENGIS EKW-4601FN-3AL은 정밀하고 올인원 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 광범위한 어플리케이션의 요구를 충족할 수 있도록 설계된 EKW-4601FN-3AL 은 뛰어난 웨이퍼 (wafer) 처리 일관성과 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 연삭, 랩핑, 연마 작업을 하나의 완전하게 자동화된 프로세스로 결합하여 모든 단계를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 시스템은 다양한 헤드와 장치를 갖추고 있으며, 사용자 정의 가능한 그라인딩 패턴 (grinding pattern) 과 제어 매개변수 (control parameter) 를 통해 처리량을 극대화할 수 있습니다. 또한, 효율성을 높이기 위해 고유 한 청소 절차를 갖춘 멀티 채널 워터 제트 (waterjet) 청소 장치가 포함되어 있습니다. ENGIS EKW-4601FN-3AL에는 손쉽게 설치 및 작동할 수 있도록 그래픽 LCD 컨트롤러가 장착된 사용자 친화적 인터페이스가 있습니다. 8 인치 T 슬롯 베드 플레이트는 와퍼 및 스핀들의 최적화, 반복 가능한 위치를 위해 조정 가능한 작동 높이를 가지고 있으며, 최대 정확도를 제공합니다. 정밀 스핀들을 사용하면 전체 공정에서 최대 0.5 nm 해상도로 동적 연삭, 랩핑 및 연마가 가능합니다. 이 기계는 또한 공기 흐름 재순환 (air-flow re-circulation) 및 온도 관리를 통해 연삭 및 연마 과정에 대한 적절한 온도를 유지합니다. 공기 흐름 재순환 (air-flow re-circulation) 은 처리 중 웨이퍼를 시원하게 유지하는 데 도움이되며, 이로 인해 일관된 표면 마무리가 이루어지고 왜곡이 방지됩니다. EKW-4601FN-3AL에는 또한 소형 웨이퍼를 쉽게 생산하는 고급 자동 진동 다이빙 장치 (auto-vibratory dicing unit) 가 포함되어 있으며, 최첨단 무결성을 보존하고 파손, 칩핑 및 디어 미네이션을 제거합니다. 마지막으로, ENGIS EKW-4601FN-3AL은 비접촉 구성 요소, 베어링 (bearing-less) 구성 및 고급 자동 윤활 도구로 손쉽게 유지 관리할 수 있도록 설계되었습니다. EKW-4601FN-3AL은 뛰어난 디자인, 최고의 정확성, 반복성, 원활한 운영 및 유지 관리를 통해 정확한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 다듬기를 다음 단계로 수행합니다.
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