판매용 중고 ENGIS EJW-1200EFN-4AL #9224525

ENGIS EJW-1200EFN-4AL은 까다로운 생산 어플리케이션을 위해 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 단일 패스에서 최대 500 개의 웨이퍼를 접지 할 수있는 시간당 최대 1500 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 200, 300, 350, 500 mm 등 정밀도로 동일하거나 다른 크기의 웨이퍼를 처리 할 수있는 4 개의 교환 가능한 스핀들이 있습니다. 각 스핀들은 +/- 0.001mm (+/- 0.001mm) 의 유지 공차를 달성 할 수 있으며, 결과의 정확성과 반복성을 높이기 위해 닫힌 루프 서보 모터를 갖추고 있습니다. 4 개의 모듈 식 및 재순환식 챔버는 빠른 설정 및 전환 시간을 가능하게하며, 특허를받은 연속 플랫 라인 처리 시스템 (continuous flat line processing system) 은 균일성을 보장합니다. 고성능 저진동 (low-vibration) 설계는 매우 조용한 기계를 만들고, 각진 노즐 제트기는 뛰어난 웨이퍼 에지 (wafer edge) 보호 기능을 제공합니다. 모듈 식 및 재순환식 챔버는 힌지 (hinged) 뚜껑과 무거운 진공 송풍기를 사용하여 쉽게 유지 관리할 수 있습니다. 이 장치에는 사용 편의성과 고급 기능을 위해 대용량 컬러 터치스크린 디스플레이가 적용된 고성능, 고급 프로세스 컨트롤러 (Advanced Process Controller) 가 제공됩니다. 데이터 수집 시스템 (Data Acquisition Machine) 은 실시간 프로세스와 위치 제어 (Positional Control) 기능을 제공하며 결과는 동일한 디스플레이 창에 그래픽으로 표시됩니다. 또한, 컨트롤러는 원격 진단 및 문제 해결, 원격 프로세스 세트 포인트 (remote process set point) 및 모터 매개변수 (motor parameter) 를 허용합니다. 이 도구는 내구성이 뛰어난 스테인레스 스틸 프레임 (stainless steel frame) 에 보관되어 있으며, 고온 공정으로 인한 부식 및 마모에 대한 탁월한 보호 기능을 제공합니다. 통합 된 상부 냉각 자산 (upper cooling asset) 은 처리 표면이 효과적으로 소실되어 모델의 수명이 연장됩니다. EJW-1200EFN-4AL (EJW-1200EFN-4AL) 은 대용량 중대형 웨이퍼를 처리하기 위한 최적의 선택으로, 최고 수준의 결과를 제공합니다.