판매용 중고 ENGIS EJW-1200EFN-4AL #9156523

ENGIS EJW-1200EFN-4AL
ID: 9156523
빈티지: 2008
Lapping system 2008 vintage.
ENGIS EJW-1200EFN-4AL은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업을 위해 설계된 독특한 최첨단 장비입니다. 이 시스템은 뛰어난 품질과 유연성을 유지하면서 높은 수준의 처리량과 정확도를 제공하도록 설계되었습니다 (영문). EJW-1200EFN-4AL은 주로 대용량 웨이퍼의 양면 처리를 위해 4 개의 안테나가있는 연삭/랩 메커니즘으로 구성됩니다. "안테나 '들 은 방사선 으로 조절 할 수 있는" 캔틸레버' 암 에 장착 되어 더 높은 선형 속도 와 더욱 "웨이퍼 '표면 의 마무리 를 가능 하게 한다. 각 안테나는 사운드 댐핑 (sound-dampening) 캐비닛으로 둘러싸인 랙마운트 (rack-mountable) 프레임에 고정되어 있어 프로세스 소음을 줄이고 일관성 있는 마무리를 촉진할 수 있습니다. 이 장치는 다양한 연삭/랩/연마 요구 사항에 맞출 수 있습니다. 예를 들어, 각도 연삭/랩, 웨이퍼 서피스 펄버링 및 모서리 디버링을 위해 구성 할 수 있습니다. ENGIS EJW-1200EFN-4AL은 또한 20 웨이퍼 카세트 용량을 포함하는 최대 9 개의 중량 웨이퍼 카세트를 수용 할 수있는 공압 척을 특징으로합니다. 따라서 시간당 최대 800 웨이퍼의 이중 또는 단면 프로세스가 가능합니다. 시스템의 자동화는 사용자 친화적 그래픽 인터페이스를 갖춘 PC 기반 Control Station 으로 구동되며, 이는 루프 카운트 (loop count), 포지셔닝 (positioning), 속도 조정 (speed adjustment) 과 같은 프로세스 매개변수를 모니터링하는 데 사용됩니다. 또한, EJW-1200EFN-4AL 도구는 먼지 필터링, N2 블로우 오프 및 극저온 냉각과 같은 환경 제어 시스템과 결합하여 공정 중에 모든 불순물이 제거되도록 할 수 있습니다. 결론적으로, ENGIS EJW-1200EFN-4AL은 대규모 생산의 엄격함을 견딜 수 있도록 설계된 혁신적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 자산입니다. 높은 정확도, 신뢰성, 다양한 프로세스 옵션을 제공하므로 다양한 Wafer (Wafer) 구성 애플리케이션에 적합합니다.
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