판매용 중고 ENGIS EJ-380 #9143445

ENGIS EJ-380
ID: 9143445
빈티지: 1989
Lapping system 1989 vintage.
ENGIS EJ-380은 직경이 최대 8 "인 반도체 웨이퍼에 뛰어난 표면 마감과 웨이퍼 직선을 생성하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. EJ-380은 독점적 인 "비브라 자르 (Vibra-Jar)" 를 사용하여 수평 운동과 결합 된 회전 플래튼에 영향을 주어 단일 또는 다중 플래튼 구성에 적합한 매끄럽고 일관성 있고 반복 가능한 크로스 모션을 생성합니다. ENGIS EJ-380은 최소 연마제 변경 작업으로 다이아몬드 연마, 연마 랩, 압력 연마 기능을 갖추고 있습니다. 자동 제어 시스템에는 데이터베이스 매개변수 스토리지 (database parameter storage) 도 포함되어 있어 필요에 따라 프로세스 설정을 저장하고 리콜할 수 있습니다. EJ-380의 스핀들 헤드 (spindle head) 는 특허를받은 반 영구 본드 다이아몬드 랩을 연속 다이아몬드 드레스 사이클과 통합하여 뛰어난 가공소재 평탄성과 균일성을 보장합니다. 포함 된 진행 중 웨이퍼 직선 측정 배열은 가능한 최고 수율을 보장합니다. 다른 기능으로는 비정상적인 진동 또는 과열 (overheating) 이 감지되었을 때 연산자를 감지하고 경고하는 스핀들 헤드 인-프로세스 (spindle head in-process) 모니터링 기능과 부품 공차 문제로 인한 손상 방지 (auto-stop) 기능이 있습니다. ENGIS EJ-380 은 압력, 속도, 오버랩, 유지 시간 설정을 비롯한 각 고유 프로세스 단계에 대해 완벽한 프로그래밍 기능을 제공합니다. 연산자 친화적 인 제어 인터페이스는 모든 시스템을 위한 직관적인 그래픽 메뉴 방식 인터페이스 (GUI) 를 갖추고 있으며, 여기에는 그래픽과 터치패드 (Touch Pad) 컨트롤이 통합되어 있습니다. EJ-380 (EJ-380) 은 웨이퍼의 내부 및 외부 모서리에 대한 부품 매개변수를 자동으로 감지하고 저장하도록 설계되어 있어, 연속적인 웨이퍼 실행에 대해 각 작업의 정확한 반복성을 제공합니다. ENGIS EJ-380 은 손쉽게 유지 보수할 수 있도록 설계되었으며, 운영자의 안전을 보장하기 위해 수명이 긴 폴리 우레탄 마모판 (polyurethane wear plate) 과 비품을 갖추고 있습니다. Vibra-Jar는 도구나 비품없이 쉽게 교체됩니다. EJ-380 은 온보드 진단 (On Board Diagnostic) 기능을 통해 가능한 모든 오작동로부터 추가로 보호되며, 작동 중 모든 프로세스 설정을 신속하게 재설정할 수 있습니다. ENGIS EJ-380의 내구성과 신뢰성 있는 구성은 긴 운영 수명, 뛰어난 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 성능을 보장합니다.
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