판매용 중고 ENGIS EJ-300IN #9156519

ENGIS EJ-300IN
ID: 9156519
빈티지: 2000
Lapping system 2000 vintage.
ENGIS EJ-300IN 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비는 최대 300mm 직경의 하드 및 세미하드 웨이퍼를 효율적이고 정밀한 랩핑 및 연마 할 수 있도록 설계되었습니다. 즉, 반복성을 극대화하고 수동 연마 프로세스의 다운타임을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 이 자동 시스템을 사용하면 여러 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마가 병렬로 가능합니다. 이 장치에는 처리량 지향, 대형 회전 표면 그라인더 및 다중 플랩 휠 그라인더가 모두 포함됩니다. 로터리 그라인더는 습식 및 건식 그라인딩 응용 프로그램 모두를 위해 설계되었습니다. 고도로 정밀한 기계식 드라이브 머신 (mechanical drive machine) 과 내장형 비전 툴 (vision tool) 이 장착되어 있으며, 샘플을 감축 및 냉각하기위한 효율적인 진공 테이블이 결합되어 있습니다. 정확하고 일관된 처리를 위해 일치하는 다이아몬드 휠이 특징입니다. 내부 측정 자산은 속도, 압력, 그라인딩 시간 등의 그라인딩 프로세스 매개변수를 모니터링합니다. 멀티 플랩 휠 그라인더 (multiple-flap-wheel grinder) 는 고정밀 연삭 및 연마 기능을 제공하면서 최대 생산 효율을 달성하도록 설계되었습니다. 그라인딩 휠 (grinding wheel) 을 조정하여 웨이퍼 전체 표면에 대한 최적의 선명도와 균일성을 제공 할 수 있습니다. 스크롤 휠 (scroll wheel) 은 바퀴를 웨이퍼 표면으로 압축하여 웨이퍼 전체를 가로 질러 균일 한 그라인드를 제공합니다. 랩핑 및 연마 프로세스는 EJ-300IN 제어 장치에 의해 제어됩니다. Control Unit은 자동화된 왕복 가능한 엔드-폴리싱 세그먼트, 자동 웨이퍼 래치/분리 해제, 자동 웨이퍼 클리닝 및 자동 세그먼트 속도 제어를 제공합니다. 자동 세그먼트 속도 제어 (automated segment speed control) 를 통해 더 세밀한 연삭 및 연마 설정을 만들고 저장할 수 있습니다. ENGIS EJ-300IN 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 모델은 모듈식 및 커스터마이징이 가능하므로 다른 제조 공정 또는 제품을 손쉽게 통합할 수 있습니다. 이 장비는 또한 간편한 데이터 검토 및 분석을 위해 GUI (Graphical User Interface) 를 갖춘 내장 데이터 로깅 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 자동 먼지 덮개 (automatic dust cover) 및 레이저 커터 유지 관리 (laser cutter maintenance) 와 같은 안전 기능으로 설계되어 작업 지역에 대한 효율적이고 안전한 액세스를 보장합니다. EJ-300IN 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계는 정밀 랩핑 및 연마 기능을 제공하여 인건비 절감, 처리량 증가, 제품 생산량 향상에 도움이 될 수 있습니다.
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