판매용 중고 ENGIS 16SPCS115V #9143486

ENGIS 16SPCS115V
ID: 9143486
Plate charging system.
'ENGIS 16SPCS115V' 는 반도체 장치 제작을위한 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 최대 4 개의 공정 단계를 갖춘 멀티 모드 SubstraTec 서브미크론 (SubstraTec) 입자 일시 정지 그라인딩 시스템을 갖춘 이 기계는 높은 처리량 및 세계적 수준의 그라인딩 결과를 달성하도록 설계되었습니다. 직경 115mm 웨이퍼 (wafer) 의 최대 크기로, 이 그라인더는 정밀 연삭 및 연마가 필요한 더 큰 웨이퍼에 적합합니다. 16SPCS115V는 SubstraTec 슬러리 유닛 (slurry unit) 을 특징으로하며, 균일 한 연마 흐름을 통해 가공소재 마무리를 최대화하며, 모든 프로세스 변수에 대한 정확한 제어를 가능하게합니다. 고급 연마 패드는 기본 실리콘 구조를 보호하는 한편, 수동 연마 (manual polishing) 의 시간과 노동력을 줄입니다. 이 웨이퍼 그라인더는 또한 혁신적인 AFG (Abrasive-Free Grinding) 공정을 특징으로하며, 모든 화학 윤활유가 없는 안전하고 친환경 분쇄 공정을 제공합니다. 그라인더의 서브 트라 텍 그라인딩 휠 (SubstraTec grinding wheel) 은 다른 연삭 및 연마 시스템과 비교할 때 최소한의 노력으로 탁월한 연마 결과를 제공합니다. 이 바퀴 의 독특 한 "디자인 '은 최고 의" 그라인딩' 층 의 함유 를 갖추고 있는데, 이것 은 마모 저항력 을 증대 시켜 주며, 별도 의 연마 실 을 필요 로 하지 않는다. "휠 '과 연마" 패드' 의 관절 "디자인 '은 표면 을 가로지르는 마무리 재료 의 균등 한 분포 를 보장 해 주며, 그 결과 초고층" 피니시' 가 된다. ENGIS 16SPCS115V 는 복잡한 재료의 마이크로 디바이스 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 기계의 광범위한 프로세스 매개변수를 사용하면 그라인딩 매개변수 (grinding parameters) 와 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 웨이퍼 그라인딩 머신은 회전 드럼에 최대 16 개의 패드를 장착하여 빠르고 정확한 연마 결과를 얻기 위해 미크론 레벨 표면 마무리를 달성 할 수 있습니다. 이 도구는 손쉽게 작동하고 유지 관리할 수 있도록 설계되었으며, 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 를 통해 운영자가 프로세스 설정을 사용자 정의하고 프로세스 작업 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. 통합 데이터 로깅 (Integrated Data Logging) 자산은 기록 보관 및 프로세스 최적화를 위해 모든 매개 변수를 추적 및 모니터링할 수 있습니다. 기계의 자가 진단 (self-diagnostics) 기능을 활용하여 운영자는 신속하게 문제를 파악하고, 지연을 일으키기 전에 신속하고 효율적으로 해결합니다. 이 고정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 모델은 오늘날의 반도체 산업에 필요한 Ultra High Micro-Finish 결과를 만들 수 있습니다. 16SPCS115V는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 문제에 대한 신뢰할 수 있는 저렴한 솔루션을 제공합니다. 독보적이고 다기능 기능으로 최고 품질의 wafer micro-finish 표준을 달성할 수 있습니다.
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