판매용 중고 ENCO 9514506 #9221221

ENCO 9514506은 반도체 재료의 효율적이고 정밀한 처리를 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 실리콘, 저마늄, 갈륨 비소와 같은 반도체 재료와 다양한 성질의 새로운 III-V 재료에 적합합니다. 이 시스템은 양면 처리를 동시에 할 수있는 2 개의 그라인딩 휠과 웨이퍼 제조 후 연마 용 2 개의 연마 유닛으로 구성됩니다. 그라인딩 휠에는 자재 특성 및 원하는 표면 품질에 따라 그라인딩 단계의 경우 0 ~ 1200 RPM (0 ~ 1200 RPM) 범위의 회전 속도 조정을위한 통합 모터 조절기 (Integrated Motor Regulator) 가 장착되어 있습니다. 랩핑 스테이션에는 랩핑 공정 (lapping process) 동안 공구의 물 윤활을 개선하기 위해 자가 급식 탈이온화 된 물 탱크가 통합되어 있습니다. 이 장치는 견고성 (roughness), 거친 깊이 (roughness depth), 서피스 품질 (surface quality) 값의 균일성을 높여 결과를 극대화하고 반복할 수 있도록 설계되었습니다. 9514506 머신에는 랩핑 프로세스 동안 처리 된 재료의 청결성을 보장하기 위해 서브 미크론 여과 장치 (sub-micron filtration unit) 도 포함되어 있습니다. 또한, 이 도구에는 결함 방지, 공구 손상 (damage) 을 위한 통합 냉각수 여과 자산이 포함되어 있습니다. 모델 레벨 모니터링, 프로세스 제어, 기록 기능 등 다양한 기능을 갖춘 통합 사용자 인터페이스 (Integrated User Interface) 를 사용하면 프로세스 실행 및 결과의 반복성을 향상시킬 수 있습니다. 이 장비에는 또한 웨이퍼 (wafer) 의 하선을위한 자동 웨이퍼 인덱싱 기능이 제공됩니다. 견고한 프레임으로 설계된 이 시스템은 최종 결과의 높은 성능, 최대 정확성, 반복성 (repeatability of the final results) 을 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 이 장치는 작업 연속성을 향상시킬 수 있도록 자동 도구 유지 관리를 위해 설계되었습니다.