판매용 중고 EBARA Frex 300SII #9244830
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ID: 9244830
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
CMP System, 12"
Process: Cu
Hirata
(3) Loadports
(2) G3 Heads
RECM
Missing parts:
Hard Disk Drive (HDD)
Nano 9010b
2009 vintage.
EBARA Frex 300SII는 강력하고 정밀 설계 된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 최소 연산자 개입으로 최대 300mm 직경 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. EBARA FREX 300 SII는 내장형 고정밀 스핀들 시스템을 사용합니다. 이 스핀들 장치 (5 축 선형 모터, 작은 피치 볼 스크루, 에디 전류 브레이크 및 에어베어링 인코더) 는 뛰어난 표면 마무리 및 뛰어난 표면 평면을 위해 최대 10 마이크로 스텝 정확도를 제공합니다. 기계는 또한 3 단계 랩핑 프로세스를 자랑합니다. 첫째, 웨이퍼는 반도체 웨이퍼 플래너라이제이션을 받는다. 이 프로세스는 웨이퍼의 지형 변형을 줄여 플랫 서피스를 생성합니다. 다음으로, 웨이퍼는 임의의 가장자리 치핑, 입자 및 불규칙성과 같은 결함을 제거 할 수 있습니다. 마지막으로 웨이퍼는 더 나은 마무리를 달성하기 위해 연마됩니다. 랩핑 프로세스로 도량형 정확도가 향상되고 처리량이 높아집니다. 이 도구는 다양한 옵션 기능을 제공합니다. 독점 CFRP 베이스는 진동 감쇠와 더 높은 수준의 치수 안정성 (dimensional stability) 을 보장하여 더 부드럽고 정확한 회전 움직임을 제공합니다. 액체 공기 냉각 자산은 연삭 및 연마 과정에서 발생하는 열을 소산시키는 데 도움이됩니다. 이 모델은 또한 광범위한 소모품 (consumable) 및 부품 교체 (part-replacement) 옵션을 제공하므로 장비를 특정 애플리케이션 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 마지막으로, 시스템은 근접 센서, 비상 정지 스위치 (Emergency Stop Switch) 등 최고 수준의 안전 기능을 제공합니다. 근접 센서 (근접 센서) 가 근처에 연산자의 존재를 감지하는 반면, 비상 정지 (Emergency Stop) 스위치를 사용하면 예기치 않은 사고 또는 비상 사태가 발생할 경우 작업을 신속하게 종료할 수 있습니다. 전반적으로 FREX 300-SII는 엄청나게 강력하고 정확한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치입니다. 안전하고 효율적인 웨이퍼 (Wafer) 처리 환경을 보장하는 다양한 안전 기능과 더불어 탁월한 정확도와 정확도를 제공합니다 (영문).
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