판매용 중고 EBARA Frex 300S2 #9364502

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ID: 9364502
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2015
CMP System, 12" Polisher: (4) Turn tables (4) Top rings (GX 8-Area) (4) Scan dressers (4) Atomizers (2) Liner transportors (2) Turn overs STP Controller (4) Slurry scan nozzles (4) Wafer slip out sensors (2) Operation panels Cleaner: R/R With megasonic jet (2) R/R IPA/SRD EFEM: Dry robot (4) Loadports (2) Operation panels ITM NOVA Slurry nozzle motor type Auto Calibration Options: GX Carrier Anti static material for wafer exposed surface Eddy current end point monitor (R-ECM1D) (2) ME-30 for S-OPM TCM EPD Controller Malema slurry flow controller Light curtain for EFEM Camera 2015 vintage.
EBARA Frex 300S2는 고밀도, 고품질 웨이퍼를 생산하도록 설계된 고급 다기능 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 저압 공기 샌딩을 사용하여 표면 불규칙성 제거, 계곡 심화, 평평한 표면 거칠게 해주는 특허를받은 3 면 연마 헤드가 특징입니다. 이 시스템은 또한 최대 200mm 크기의 웨이퍼 크기를 처리 할 수있는 공기 구동 그라인딩 헤드 (air-driven grinding head) 를 특징으로하며, 평탄도 5m보다 작게 연마 할 수 있습니다. EBARA F-REX300S2에는 각각 맞춤형 표면 마감이있는 통합 듀얼 벨트 랩핑 장치가 있습니다. 랩핑 벨트 (lapping belts) 는 연마 및 연삭 표면에 뻗어 일관된 마무리를 생성하는 전기형 티타늄 플레이트입니다. 벨트 설계는 또한 최대 600 ° C 온도에서 훨씬 더 많은 사용 빈도를 허용하며, 이를 통해 고효율 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 가 가능합니다. FREX-300 S2 에는 원격 작업 머신 (remote operations machine) 이 포함되어 있어 연산자가 멀리서 연삭 및 랩핑 머신을 편리하게 운영 할 수 있습니다. 이것은 크기나 복잡성으로 인해 다중 패스 (multiple passes) 가 필요한 대형 웨이퍼를 처리 할 때 특히 유익합니다. 또한 이 원격 작업 도구 (remote operations tool) 를 사용하여 연산자가 각 매개변수를 수동으로 설정하지 않고도 속도, 이송 깊이, 용량 등 더 높은 정밀도를 얻을 수 있는 매개변수를 조정할 수 있습니다. 자산은 사용하기 쉽고 유지 관리가 용이하며, 연마나 랩핑 조정이 필요할 때 운영자에게 경고하기 위한 자동 모델 제어 (automated model control) 장비를 포함합니다. 이 소프트웨어는 실시간 프로세스 모니터링을 통해 FREX 300 S2를 보다 효율적이고 사용하기 쉽습니다. 전반적으로 EBARA FREX 300 S2는 웨이퍼의 연삭, 랩핑 및 연마 분야에서 탁월한 정확성과 품질을 달성하려는 사람들에게 이상적인 선택입니다. 강력한 기능으로, 정밀 웨이퍼 제작을 위한 효율적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다 (영문). EBARA FREX-300 S2는 웨이퍼 처리 분야에서 가장 높은 표준을 달성하려는 사람들에게 완벽한 선택입니다.
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