판매용 중고 EBARA Frex 300S2 #9351475

EBARA Frex 300S2는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 웨이퍼 및 박막의 정확한 초음파 머시닝을 위해 특별히 설계되었습니다. 태양전지, 박막 트랜지스터, 박막 집적 회로, 광학 반도체, 기타 고급 웨이퍼 타입 장치 등 다양한 웨이퍼 애플리케이션에 적합합니다. 이 시스템에는 고속 및 고정밀 쿼츠 세라믹 그라인딩, 랩핑 및 연마를위한 고정밀 선형 모터 스테이지가 있습니다. 이 모터 구동 장치는 2 개의 연속 속도와 6 단계 속도를 포함하여 광범위한 스핀들 속도를 가능하게합니다. 또한, 기계는 스핀들 회전 속도를 완전히 자동화하는 스텝 모터 (step motor) 와 조이스틱 (joystick) 을 포함합니다. EBARA F-REX300S2는 밀폐형 먼지 없는 작업 공간, 조절 가능한 그라인딩 휠 및 유속 선택기, 다중 와이어 전극 스핀들 등 최적의 그라인딩/랩 솔루션을 제공합니다. 이 도구는 최대 반복성을 위한 고정밀 선형 모터 스테이지 (high-precision linear motor stage) 와 정확하고 일관된 결과를 위한 저력 이송 (low force feed grinding) 메커니즘을 갖추고 있습니다. 또한 에셋은 스핀들 속도 (spindle speed), 이송 속도 (feed rate), 휠 각도 (wheel angle), 기울기 각도 (tilt angle) 와 같은 작업 매개변수에 대한 프로그래밍 가능한 제어를 제공합니다. FREX-300 S2에는 스핀들 (spindle) 의 정확한 이동을위한 고급 공기 베어링 가이드 모델과 장비 진동 감소를위한 진동-격리 설계가 포함되어 있습니다. 또한, 시스템에는 연삭 단계 (grinding stage) 와 연삭 패드 상태 (grinding pad status) 와 남은 완료 시간을 보여주는 LED 표시기가 장착되어 있습니다. 마지막으로, 이 장치는 연삭 및 랩핑 스톤, 파우더, 탄소 연마 마비 패드, 폴리 우레탄 패드 (polyurethane pad) 와 같은 다양한 연마 및 랩핑 제품과 호환됩니다. 전반적으로 EBARA FREX-300 S2는 광범위한 요구를 충족하도록 설계된 매우 정확한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 최적의 그라인딩 및 랩핑 솔루션, 최대 반복성을위한 고정밀 선형 모터 스테이지, 정밀하고 일관된 결과를위한 저력 피드 그라인딩 메커니즘, 작업 매개변수에 대한 프로그래밍 가능한 제어 기능 등을 갖추고 있습니다. 또한 밀폐된 먼지 없는 작업 공간, 조절 가능한 그라인딩 휠 (grinding wheel) 및 유속 선택기, 고급 공기 베어링 가이드 (air bearing guide) 도구를 통해 박막 및 웨이퍼 기반 장치의 생산이 가장 정확한지 확인할 수 있습니다.