판매용 중고 EBARA Frex 300S2 #9311211

EBARA Frex 300S2는 75äm에서 10mm까지의 웨이퍼를 처리하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 웨이퍼 표면을 가로 질러 +/-2äm의 고정밀 공차를 가진 플랫, 구불 구불 또는 그루브 웨이퍼의 생산을 위해 설계되었습니다. 이 기계에는 강력한 고속 그라인딩 스핀들 (spindle) 이 포함되어 있으며, 다중 위치 회전 테이블과 결합하여 최대 180 ° 의 정밀하고 반복 가능한 각도를 제공합니다. 연삭 실린더는 연삭 표면을 따라 균등하게 퍼지는 다이아몬드 그릿 (diamond grit) 을 가진 자체 포함 단위이며, 부드러운 가장자리와 매우 단단한 공차를 가진 매우 정확한 연삭 (grinding) 을 허용합니다. "레이저 '인코더 는" 웨이퍼' 길이 를 정확 하게 측정 하고 "웨이퍼 '수준 을 유지 하기 위하여 포함 된다. 다양한 스핀들 속도 및 이송 속도를 사용하여 기계는 웨이퍼를 75äm에서 10mm로 갈아 넣을 수 있습니다. 연삭 "바이브레이터 '는 또한" 웨이퍼' 의 경도 가 변하기 때문 에 연삭 의 특성 을 변화 시킬 수 있도록 조정 된다. 기계의 랩핑 및 연마 구성 요소는 +/-2õm의 더 높은 웨이퍼 공차를 허용합니다. 필요한 마무리를 달성하기 위해 다양한 다이아몬드 및 붕소-카바이드 연마제를 사용할 수 있습니다. 자동화 된 도저 시스템 (automated doser system) 은 원하는 마무리를 달성하기 위해 가변 압력과 속도로 적절한 양의 연마제를 정확하게 복용하기 위해 포함되어 있습니다. 반복 가능성과 단위 정확성을 보장하기 위해 EBARA F-REX300S2에는 PLC 제어 머신과 온보드 프로세스 로그, 자동 e-스톱 도구가 포함되어 있습니다. 이 자산은 운영자의 개입을 줄이기 위해 고안되었으며, 리플 그라인딩 (Ripple Grinding) 및 오류 (Error) 를 위해 자체 교정할 수 있는 내장 모델이 내장되어 있습니다. 전자스톱 (e-stop) 장비를 이용하면 비상 사태가 발생할 경우 운영자가 안전하게 기계를 멈출 수 있습니다. 또한이 기계에는 온보드 잔류 청소 시스템 (on-board residue cleaning system), 의도하지 않은 마모에 노출 된 부품의 자동 보호, 보드 사고 방지 기능 등 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 전반적으로 FREX-300 S2는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 분야에서 탁월한 결과를 제공하기 위해 설계된 고급형 기계입니다.