판매용 중고 EBARA Frex 300S2 #9298514

EBARA Frex 300S2는 다재다능한 고성능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 반도체 및 기타 마이크로 일렉트로닉 응용 프로그램 (웨이퍼 및 기판 준비, 얇음, 공정 후 스무딩) 의 특정 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. EBARA F-REX300S2의 정밀 설계 설계는 고급 기능과 디자인 요소의 독특한 조합을 특징으로합니다. 작업 챔버 (Work Chamber) 가 완전히 동봉되고 사용이 간편한 사용자 인터페이스로 작동이 제어됩니다. 연산자는 큰 창을 통해 연삭 및 연마 과정을 볼 수 있습니다. 연삭 시스템은 단일 배치에 여러 웨이퍼를 연삭 및 랩핑하기위한 천공 된 플레이트 또는 "허니 컴 (Honeycomb)" 플레이트를 포함합니다. 이렇게 하면 배치 크기가 작은 경우에도 여러 웨이퍼를 처리하는 데 필요한 시간이 줄어듭니다. 안전 도어 (Safety Door), 팬 필터 (Fan Filter) 및 공기 잠금 장치 (Air Lock) 의 조합은 먼지가 없는 작동 환경을 보장합니다. 각 FREX-300 S2에 포함 된 디지털 플래튼 포지셔닝 장치는 모든 웨이퍼 및 기판에 대해 높은 정확성과 매우 균일 한 연마를 보장합니다. 정밀 다이렉트 드라이브 (direct drive) 및 볼 베어링 (ball-bearing) 지원을 갖춘 개별 스핀들 모터의 기계는 모든 연삭 및 연마 작업에 최적의 토크를 보장합니다. 이러한 기능을 통해 EBARA FREX-300 S2는 Si, GaAs 및 특수 재료를 포함한 모든 유형의 웨이퍼, 기판 및 재료를 처리하는 데 적합합니다. EBARA FREX 300 S2는 고급 프로세스 모니터링 및 제어 기능 (모든 프로세스 매개 변수의 실시간 표시) 과 오류 수정 및 데이터 로깅 기능 (fault correction and data logging) 을 추가로 포함합니다. 연삭/연마 도구의 자동 교정 (Automated calibration) 을 통해 사용자는 다른 응용 프로그램에 대한 매개변수를 리콜하고 설정할 수 있습니다. 에셋에는 PLC 및 AC 서보 모델 (예민한 모니터용) 과 프로세스 매개변수 제어 (최대한의 생산성 및 정확성) 가 포함됩니다. 전반적으로 FREX 300 S2는 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 작업을위한 강력하고, 안정적이며, 정확한 장비입니다. 고급, 사용하기 쉬운 컨트롤, 높은 정확도 모션 컨트롤 (motion control) 을 통해 다양한 웨이퍼 및 기판을 처리할 수 있습니다.