판매용 중고 EBARA Frex 300S2 #9290831

EBARA Frex 300S2는 다양한 크기의 웨이퍼를 수용하고 균일 한 표면 평평함을 제공하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 제품은 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 정렬을 위한 3축 사전 정렬 시스템과 정확한 웨이퍼 에지 (wafer edge) 위치를 위한 고정밀 선형 모터 피드 (linear motor feed) 장치를 갖추고 있습니다. 연삭 및 랩핑 단계는 정밀 다이아몬드 휠 (precision diamond wheel) 과 연마 패드 (polishing pad) 의 조합을 사용하여 웨이퍼 표면을 매끄럽게하고 평평하게합니다. EBARA F-REX300S2에는 응용 프로그램에 따라 최적의 프로세스를 수용하기 위해 회전, 기울기, 스핀들 속도를 독립적으로 제어 할 수있는 분산 드라이브 머신 (Distributed Drive Machine) 이 장착되어 있습니다. "웨이퍼 '의 균일 한 평평 함 을 유지 하고" 디싱' 과 "채터 '를 감소 시키기 위하여 고급 동력 진공" 클램프' 도구 가 사용 된다. FREX-300 S2의 추가 기능에는 먼지 고정, 공기 제거 케이스, 정확한 온도 조절, 사용자 친화적 인 터치스크린 그래픽 사용자 인터페이스, 프로세스 제어 강화를위한 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 이 포함됩니다. 또한, 이 자산은 빠른 로드 및 언로드용으로 설계되었으며, 반복 가능한 단일/다중 웨이퍼 인라인 (inline) 처리를 제공합니다. 전반적으로 F-REX300S2는 정밀 동작 제어, 자동 제조 프로세스, 정밀한 온도 조절로 인해 웨이퍼를 빠르게 연삭, 랩, 연마 할 수 있는 탁월한 선택입니다. 표면 평면도 및 반복성 측면에서 우월한 결과를 얻은 FREX 300 S2 는 다양한 웨이퍼 처리 (wafer processing) 어플리케이션에 필요한 정밀성과 유연성을 제공합니다.