판매용 중고 EBARA Frex 300S2 #9237840
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판매
ID: 9237840
웨이퍼 크기: 12"
Oxide CMP system, 12"
EFEM:
(4) SMIF TDK
(4) ASYST Load ports
YASKAWA Dry robot
Position control: Motor ball screw
Wafer transfer:
Transporter STP
(4) Pushers: A, B, C, D
(2) LTP: LTP-A & LTP-B
C-LTP
Turn over
Polishing unit:
Top ring:
(4) Retainer rings: SUS / PPS
(4) Head types: GII
Dresser:
(4) Disk types: Paradium coating
(4) Holder types: SEASOL (Magnetic)
(4) Scan disks
Table:
(4) Stainless steels
(4) Lapping surfaces
(4) YASKAWA Motors
Hardware:
Cleaner 1:
(2) Method: Roll scrub
MEGASONIC
Bevel sponge
SC-1 < 60°C
Cleaner 2:
(2) Method: Roll scrubs
Anti-static
Cleaner 3:
(2) Method: Roll scrubs
MEGASONIC
SC-1 < 60°C
Wafer roller:
(8) Hardness Duro90
ETC:
Position: Front, left, standalone
User interface: Touch panel, 15"
HMIPC Spec: Celeron 1.2 GHz
Recipe backup: FDD / MO / USB Port
End point monitor:
TCM:
(2) Controllers: ME-20
Data back up: USB Port
ITM Type: NANO 9010bxls
APC/CLC: BC&FS
(4) Atomizers
(4) Slip out sensors: CCD Camera
Utility:
D.I.W Connection
(4) Exhaust connections
Direction: Downward
Slurry delivery type: CLC.
EBARA Frex 300S2는 강력하고 효율적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 독점 로터 (rotor) 와 고정자 (stator) 의 조합을 사용하여 독특한 연삭/연마 동작을 만듭니다. 이 장치는 저진동, 저소음, 고연마 효율성, 다양한 웨이퍼 (wafer) 유형으로 작업할 수 있는 고정밀 그라인딩을 제공하도록 설계되었습니다. EBARA F-REX300S2를 사용하면 최대 직경 300mm, 최소 직경 150mm의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 사용자에게 두 가지 프로세스 모드 (연삭 및 연마) 를 선택할 수 있습니다. 그라인딩 로터는 45도 모따기 프로파일을 사용하여 웨이퍼 표면에서 금속을 효과적으로 제거합니다. 이를 통해 웨이퍼 면의 정확한 제작과 마이크로 프릴 (micro-ruffle) 및 버를 효과적으로 제거 할 수 있습니다. 그런 다음 랩핑 프로세스를 래싱하여 최종 연마 표면을 생성합니다. 이것 은 "웨이퍼 '의 양수 표면 에 그려지는 음전하" 이온' 의 도입 에 의하여 행해진다. FREX-300 S2 (FREX-300 S2) 는 로터와 고정자 사이의 조절 가능한 공기 간격을 사용하여 최적의 연삭 및 연마 프로파일을 만듭니다. 이 도구에는 빠른 유지 보수를 허용하는 매개변수 설정 (parameter setting) 옵션도 있습니다. 자산의 다양성 (versitility of the asset) 을 통해 사용자는 프로세스 속도를 조정할 수 있고, 압력 제어 (pressure control) 를 통해 원하는 마무리를 만들 수 있습니다. EBARA FREX-300 S2는 또한 작동 중에도 저진동 및 저소음 프로세스를 제공합니다. 또한, 이 모델은 공정 중에 오염 물질이 제거되도록 고효율 여과 장비를 갖추고 있습니다. Frex 300S2 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템은 효율적이고, 다재다능하며, 강력한 기능으로, 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 또한 Wafer Face를 정확하게 제작할 수 있는 옵션을 제공하며, Micro-Ruffle 및 Burr을 제거하고, 두 개의 Process Mode에서 Grind 및 Polish를 제거하고, 낮은 진동과 Noise로 작동할 수 있습니다. 또한 조절 가능한 공기 간격, 조절 가능한 속도, 압력 제어 설정 (Pressure Control Settings) 으로 설계되어 고유한 필요에 따라 설정을 빠르게 조정할 수 있습니다. 요약하자면, EBARA FREX 300 S2 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마기는 고정밀도, 고효율 연삭 및 연기가 필요한 산업 응용 분야에 이상적인 도구입니다.
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