판매용 중고 EBARA Frex 300S2 #293606311

ID: 293606311
CMP System.
EBARA Frex 300S2 Wafer Grinding, Lapping and Polishing Machine은 생산 환경에서 정밀하고 고성능 연삭, 랩핑 및 연마 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 통합 그라인딩 유닛, 랩핑 플레이트 (lapping plate) 및 연마 헤드 (polishing head) 로 구성되며 컴퓨터 제어를 통해 작동 할 수 있으며 웨이퍼 두께에서 최대 5 ° m를 자를 수 있습니다. 기계는 Grinder Unit과 Lapping and Polishing Head의 두 가지 주요 부분으로 구성됩니다. 그라인더 유닛 (Grinder Unit) 은 웨이퍼 (Wafer) 의 표면적에서 과도한 재료를 분쇄하는 기능이있는 시스템의 작업마입니다. 이 장치 는 "다이아몬드 '연삭" 휠' 을 사용 하여 0.001um 이상 의 재료 를 제거 하여 매우 정밀 한 마무리 를 이룰 수 있다. 사용자 정의 모터, 최적화된 속도, 이송 속도, 스핀들 및 드라이브 단위 (그라인더 유닛 (Grinder Unit) 는 그라인딩 휠의 궤적 제어를 프로그래밍할 수 있는 터치 패널을 통해 제어됩니다. 랩핑 앤 폴리싱 헤드 (Lapping and Polishing Head) 는이 장치의 두 번째 암으로, 각 웨이퍼에 마무리 터치를 적용 할 때 더 넓은 정밀도를 달성하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 랩핑 플레이트 (lapping plate) 가 장착되어 있으므로 랩핑 에이전트를 적용하여 초소형 서피스를 만들 수 있습니다. 랩핑 제는 거울과 같은 표면을 달성하기 위해 다이아몬드 화합물, 연마제, 윤활제로 구성되며, 미크론의 10 분의 1을 제거 할 수 있습니다. 랩핑 플레이트는 고도로 조절 된 압력으로 회전하는 반면, 연마 헤드는 연마 제를 적용하여 원하는 마무리를 달성합니다. 연마 헤드는 터치 패널 (touch panel) 에 의해 제어되며, 프로그래밍 가능한 매개변수와 조건이 있으며, 제어 된 연마 과정을 허용합니다. EBARA F-REX300S2 Wafer Grinding, Lapping and Polishing Machine은 매우 정확한 웨이퍼 그라인딩 및 연마 수준을 달성하기위한 귀중한 도구입니다. 전력 과 정밀도 의 결합 은 최고 의 표준 에 부합 하는 "웨이퍼 '를 생산 할 수 있으며, 커스텀 모터' 와 조절 속도 는 우수 한 반복성 을 유도 하였다. 컴퓨터 제어 하에서 작동하는 Grinder Unit, Lapping Plate 및 Polishing Head를 사용하면 정밀 연삭, 랩핑 및 연마 분야에서 최고의 결과를 얻을 수 있습니다.
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