판매용 중고 EBARA Frex 300S #9402500

EBARA Frex 300S는 고품질 반도체 장치 생산을 지원하기 위해 설계된 반자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 다양한 기능과 액세서리 (accessory) 를 갖추고 있어 우수한 프로세스 제어 결과를 제공합니다. 이 장치의 중심부에는 연삭/연마 모터 (grinding/polishing motor) 가 있으며, 2 ~ 10 킬로파스칼의 힘을 발생시킬 수 있으며, 매우 정밀하고 반복 가능한 연삭 및 연마 결과를 제공하도록 설계되었습니다. "모우터 '는 정밀 한 힘 조절 을 위한" 스테퍼 모우터' 제어 장치 를 갖추고 있어서 정밀 한 연마 압력 을 설정 할 수 있다. 트리밍 (Trimming) 및 엔드 페이스 피스 마무리 (End-face finish) 모드를 기계로 프로그래밍하여 레벨 및 경사 연마 등의 고급 기능을 제공 할 수 있습니다. EBARA FREX300S에는 압력, 간격 자유 랩 및 정밀 제어를 위해 트루 탑 랩핑 도구가 장착되어 있습니다. 이 자산은 랩핑 (lapping) 패턴의 형성을 방지하고 웨이퍼의 미세하고 균질한 마무리를 보장하도록 특별히 설계되었습니다. 트루 탑 랩핑 모델은 가변 힘 제어 (variable force control) 도 가능하여 정확하고 안정적인 그라인딩, 랩핑 및 연마가 가능합니다. 또한 F-REX300S 는 수동/자동 워시 기능 및 린스 기능을 모두 제공하여 최고 수준의 깨끗함을 보장합니다. 이 장비에는 대형 물 탱크 (water tank) 와 여과 시스템 (filtration system) 이 포함되어 최대 청소 효율과 최소 웨이퍼 손상이 가능합니다. "탱크 '는 오염 과 부식 을 줄이는 데 도움 이 되는 온도 조절 장치 를 갖추고 있다. EBARA FREX-300S는 또한 힘 모니터링, 현재 모니터링, 웨이퍼 매핑과 같은 다양한 프로세스 모니터링 및 제어 시스템을 제공합니다. 이러한 시스템은 필요한 모든 매개변수를 관찰하여 최적의 성능 및 반복 (repeatability) 을 보장합니다. 또한, FREX-300S 는 다양한 컴퓨터 지원 소프트웨어 시스템과 호환되며, 시스템 성능 및 데이터 기록을 자동으로 평가할 수 있습니다. 전반적으로 EBARA F REX 300 S는 고품질 반도체 장치 및 웨이퍼 생산을위한 훌륭한 도구입니다. 이 자산은 다양한 프로세스 모니터링 및 제어 옵션을 제공하면서 정밀 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 를 보장하는 다양한 기능을 제공합니다.