판매용 중고 EBARA Frex 300S #9382439

ID: 9382439
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
CMP System, 12" 2007 vintage.
EBARA Frex 300S Wafer Grinding, Lapping & Polishing 장비는 EBARA Corporation에서 개발했으며 다양한 기판의 연삭, 랩핑 및 연마를 위해 특별히 설계되었습니다. 이 시스템은 연마제 (marrasive) 및 랩핑 (lapping) 도구를 모두 강화하는 기능을 제공하며, 밀폐된 디자인으로 인해 먼지와 잔류 물을 제거합니다. EBARA FREX300S는 작업 조각 진동을 사용하며, 저진동 모션 기술과 밀폐형 공정 챔버 (enclosed process chamber) 를 사용하여 탁월한 연삭 및 연마 성능을 제공합니다. 이 장치는 유리 및 하드 기판 (예: 사파이어 및 실리콘) 과 모두 호환됩니다. 이 플랫폼에는 프로그램 메모리, 액션 컨트롤러, 인코더, 사용자 친화적, 직관적인 인터페이스 등 다양한 표준 기능이 포함됩니다. F-REX300S의 정교한 설계는 탁월한 연삭 결과를 보장하며, 광범위한 처리 기능을 제공합니다. 빠르고 정밀한 연삭 경로를 달성 할 수있는 최첨단 로봇 암 (robotic arm) 이 장착되어 있습니다. 이 플랫폼은 태블릿 디자인 작업 레코더 (job recorder) 와 실시간 비디오 검사 머신 (video inspection machine) 도 제공합니다. 편리성과 유연성을 강화하기 위해 이 도구는 전체 자동 모드 (full-automatic mode) 또는 수동 모드 (manual mode) 로 작동할 수 있습니다. FREX 300-S의 견고한 디자인은 습식 또는 건식 연삭 (Dry Grinding) 및 고정밀 부하 셀로 보완되어 최적의 정확성과 정밀도를 제공합니다. 모터 구동 분쇄 퀼은 빠른 속도에서도 최적의 결과를 보장합니다. 또한 Frex 300S에는 정확한 작동과 뛰어난 반복성을 위해 motion-control-asset이 장착되어 있습니다. 이 모델에는 일반적인 그라인딩과 페이스 그라인딩에 모두 사용할 수있는 독특한 그라인딩 스핀들 (grindle spindle) 이 있습니다. 고출력 그라인딩 스핀들은 최대 15,000 rpm에서 실시간 그라인딩 및 연마가 가능합니다. 이 장비는 또한 처리 중인 재료를 수용하기 위해 가변 속도 제어 (variable speed control) 를 특징으로합니다. 전반적으로 EBARA FREX-300 S Wafer Grinding, Lapping & Polishing 시스템은 다양한 정밀 부품의 연삭, 랩핑 및 연마를위한 훌륭한 솔루션입니다. 매우 자동화되고 견고하며, 모듈식 설계를 통해 다양한 애플리케이션 가능성을 구현할 수 있습니다. 이 장치는 최고 성능과 정확성, 연마 및 연마 (grinding and polishing) 의 우수한 품질 결과를 약속합니다.
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