판매용 중고 EBARA Frex 300S #9382430

EBARA Frex 300S는 고급 수직 스핀들, 회전 테이블 유형 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 최대 300mm 직경의 웨이퍼에서 표면 마무리, 평면도, 원형성을 효율적이고 정확하게 달성하도록 설계되었습니다. 공정 개발 및 대용량 생산을 위해 설계된 이 장치에는 2 개의 연삭/연마 자동 횡단 테이블, 연마식 슬러리 배달 기계, 세라믹 본딩 슬러리 응용 프로그램 도구 및 염료 제거 에셋 (dye removal asset) 이 장착되어 있습니다. 이러한 구성요소는 모두 고품질, 일관성 있는 마무리를 위해 함께 작동하도록 설계되었습니다. 체계적인 접근 방식은 전체 모델 설계에 영향을 미칩니다. 사용자에게 친숙한 PLC (Programmable Logic Controller) 를 통해 쉽게 설치 및 측정할 수 있습니다. 인체 공학적 구성에는 연마제 슬러리의 제어 충전 (controlled charge) 과 회전 테이블의 빠른 스트로크 조정 가능한 회전이 포함됩니다. 회전 테이블은 정확하고 반복 가능한 프로세스 제어를 위해 닫힌 루프 스테핑 모터에 의해 구동됩니다. 회전 테이블의 설계는 유연한 세밀한 튜닝을 통해 기판 모양 요구 사항을 충족시킵니다. 또한 고급 안전 기능에 의해 디스크 파손으로부터 보호됩니다. 연마제 슬러리 배달 장비는 각 웨이퍼에 연마제 슬러리 배달을 보장합니다. 두 개의 세라믹 결합 슬러리 응용 시스템을 함유 한 EBARA FREX300S (EBARA FREX300S) 는 특정 처리 요구 사항을 충족시키기 위해 압력, 온도 및 액체 공급을 정확하게 조정 할 수 있습니다. 염료 제거 시스템 (dye removal system) 은 잔류 물을 수동으로 풀지 않고도 연마물을 빠르게 변경할 수있는 기능을 제공합니다. F-REX300S 는 최고의 볼륨 생산 작업에 대한 탁월한 성능과 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 입자 오염 가능성을 줄이고 균일 한 표면 마무리 (surface finish) 를 보장하도록 설계되었습니다. 간단하고 신뢰할 수있는 디자인으로, 기계는 지속적으로 우수한 웨이퍼 표면 품질을 제공하는 것을 목표로합니다.