판매용 중고 EBARA Frex 300S #9311817

EBARA Frex 300S
ID: 9311817
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
CMP System, 12" (2) Platens (2) Heads For SiO2 2004 vintage.
EBARA Frex 300S (EBARA Frex 300S) 는 웨이퍼의 고성능 표면 컨디셔닝을 제공하고 정확하고 일관된 결과를 얻기 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 장치는 자동화되고 사용자 친화적이며, 손쉽게 조정하고 작동할 수 있습니다. 이 시스템은 완전히 프로그래밍 가능한 유연한 스핀들 (spindle) 과 다양한 웨이퍼 컨디셔닝 프로세스를 처리하도록 설계된 다양한 고속 스핀들 (spindle and tooling) 로 구성됩니다. 여기에는 적용에 따라 연삭, 랩 및 연마 작업이 포함됩니다. 스핀들은 3 상 벡터 모터에 의해 구동되어 광범위한 연삭, 랩핑 및 연마 공정에서 높은 정확도와 비교할 수없는 성능을 제공합니다. EBARA FREX300S에는 저속 ~ 중속 작업을위한 Dremel 유형 그라인딩 헤드 (grinding head) 와 중속 및 고속 프로세스용 주파수 최대 45,000 RPMS의 고속 스핀들 (Spindle) 이 장착되어 있습니다. 이 장치는 또한 헤드 및 그라인딩 휠 밸런스 연삭 (grinding head and grinding wheel balance) 을위한 조정 가능한 무게와 웨이퍼 컨디셔닝 중 표면 온도의 감소를위한 냉각기를 갖추고 있습니다. 마지막으로, 이 도구는 수동 작업에서 반자동 (semi-automatic) 및 완전 자동화 (full automation) 에 이르기까지 다양한 동작 능력을 제공합니다. 자동 그라인딩 (automatic grinding) 옵션을 사용하면 기계 설정을 빠르고 정확하게 조정할 수 있으며, 공구 수명과 처리량을 향상시킬 수 있습니다. 또한, F-REX300S는 비활성 챔버 (inert chamber) 와 진공 에셋 (vacuum asset) 으로 설계되어 작업 환경의 먼지 입자를 제어하여 환경에 미치는 영향을 최소화합니다. 전반적으로, FREX 300 S는 다양한 웨이퍼 컨디셔닝 프로세스에서 우수한 결과를 제공하기 위해 설계된 매우 다양한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 모델입니다. 사용자에게 친숙한 인터페이스, 사용자 정의 가능한 어플리케이션, 고급 모션 (motion) 기능은 모든 표면 컨디셔너에 적합한 강력한 도구입니다.
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