판매용 중고 EBARA Frex 300S #9293812

EBARA Frex 300S
ID: 9293812
웨이퍼 크기: 12"
CMP System, 12".
EBARA Frex 300S는 웨이퍼에서 연삭, 랩핑 및 연마 작업을 동시에 수행 할 수있는 고정밀 다기능 기계입니다. 이 장비는 4 "to12" 웨이퍼에 대한 완전 자동 처리를 제공합니다. 단순하고 효율적인 단일 바디 (single-body) 설계를 통해 유연한 생산 구성과 최적의 공간 활용이 가능합니다. 이 플랫폼은 웨이퍼 처리를 위해 빠르고 정확하며 일관된 솔루션을 제공합니다. EBARA FREX300S는 알루미늄 산화물 그라인딩 휠 (aluminum oxide grinding wheel) 이 장착 된 고성능 스핀들 모터를 사용하여 최소한의 마이크로 크랙 (micro-crack) 또는 서브 표면 손상으로 마무리 공정에서 정확성과 정확성을 제공하는 그라인딩 시스템을 갖추고 있습니다. "그라인딩 '머리 는 진동 할 수 있어서" 웨이퍼' 표면 을 가로질러 균일 한 마무리 를 할 수 있고, "와퍼 '는 진공" 척' 에 의하여 굳게 잡혀 안전 한 배치 와 가공 을 할 수 있다. 랩핑 프로세스는 고정밀 측면 와인더 래깅 메커니즘 (high-precision side winder lagging mechanism) 과 가공소재 높이 (workpiece height) 로 직접 설정할 수있는 부동 쐐기 (floating wedge) 를 사용하여 랩핑 중 높은 정밀도를 달성할 수 있습니다. 반회전 랩 플레이트는 균질하고 반복 가능한 표면 마감에 사용됩니다. F-REX300S (F-REX300S) 는 조절 가능한 속도와 압력을 갖춘 정밀 조작 식 광택제 (polisher) 를 사용하여 연마 프로세스에 대한 수동 작동을 제공하여 높은 효율성과 반복 가능한 결과를 제공합니다. "폴리셔 '는 다른 방향 으로 더 구성 될 수 있어서, 특정 한 연마 용도 에 이상적 이다. F REX 300 S는 고급 사용자 기능, 완전 자동 스핀들 및 진공 제어 기능, 통합 고정밀 선형 모터, 고정밀 측정 시스템 등을 제공하여 정확성, 반복성, 짧은 주기 시간을 보장합니다. 또한 사용자 친화적 인 터치 제어판, 다중 레시피 유닛, 장기 통계 보고서가 있습니다. 전반적으로, FREX-300 S는 효율적이고 비용 효율적인 연삭, 랩핑 및 연마 기계로, 정확하고 일관된 결과를 제공하여 광범위한 웨이퍼 처리 작업에 이상적입니다.
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