판매용 중고 EBARA Frex 300S #9245371

EBARA Frex 300S (EBARA Frex 300S) 는 반도체 산업에 사용되는 실리콘 및 기타 전자 재료에 대한 정밀 표면 마무리를 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 표준화 (Exacting) 를 위해 제작되었으며 뛰어난 프로세스 반복성과 높은 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 원하는 표면 정확도, 표면 품질, 장치 성능을 달성하기 위해 연삭, 랩핑, 연마의 섬세한 균형을 제공합니다. 기계는 연삭/연마 스핀들, 랩핑 설비, 랩핑 플래튼, 터보 스핀 플레이트 및 연마 헤드로 구성됩니다. 스핀들은 정밀한 속도와 토크 제어를 제공하는 서보 모터 (servomotor) 로 구동됩니다. "랩핑 '설비 는" 그라인딩' 과정 중 에 필요 한 각도 로 재질 을 안전 하게 고정 시키도록 설계 되었다. 랩핑 플래튼 (lapping platen) 은 기판을 랩핑 서피스에 고정시켜 균일 한 표면 품질을 보장하는 데 사용됩니다. 터보 스핀 플레이트는 고속 연마 기능을 제공하여 성능을 극대화합니다. 연마 "헤드 '는 여러 가지 재료 들 을 위해 설계 되었으며, 섬세 한 기판 을 잘 다듬어 준다. 이 도구에는 연삭, 랩핑, 연마 과정을 단순화하는 다양한 사용자 친화적 인 (user friendly) 기능이 장착되어 있습니다. 통합 모니터링 및 제어 자산, 디지털 판독 디스플레이, 데이터 로깅, 레이저 간섭계 측정 기능 (옵션) 등의 기능을 제공합니다. 통합 모니터링 및 제어 모델을 사용하면 프로세스 제어를 정확하게 수행하고 프로세스 반복 (repeatability) 을 최적화할 수 있습니다. 디지털 판독 (digital readout) 디스플레이는 필요에 따라 조정할 수 있는 프로세스 매개변수를 그래픽으로 표시합니다. 데이터 로깅 (Data Logging) 은 프로세스에 대한 정확한 기록을 제공하며 향후 프로세스를 분석하고 구체화하는 데 사용될 수 있습니다. 선택적 레이저 간섭계 측정 기능은 수동 방법보다 뛰어난 정확도를 제공합니다. EBARA FREX300S (EBARA FREX300S) 는 오늘날의 첨단 기술에 필요한 고밀도 표면 마무리를 제공하는 이상적인 도구입니다. 이 장비는 강력한 그라인딩 (Grinding), 랩핑 (Lapping), 다듬기 (Polishing) 기능과 사용자 친화적 (User Friendly) 기능을 조합하여 반도체 및 기타 전자 부품에 필요한 정확성과 품질을 달성하는 귀중한 도구입니다.