판매용 중고 EBARA Frex 300S #9235714

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ID: 9235714
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
CMP System, 12" (3) ASYST ISOPORT Polisher: (4) Tables (4-Head / 4-Platen): A, B, C, and D Retainer ring: EBARA OGR Head type: K-1406-033 Pad type: RION Disk: CW Cleaner: Turn-Over station Cleaner 1 Cleaner 2 Cleaner 3 Spin dryer Power box Robot With accessories Electrical requirements: 208 VAC, 60 Hz, 3 Phase, 3 Wire + Ground 2004 vintage.
EBARA Frex 300S는 매우 얇은 (0.5mm 또는 20mm 미만) 웨이퍼 및 박막 처리를 위해 특별히 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 3 축, 컴퓨터 제어 그라인딩 및 연마 스핀들 (spindle) 을 사용하며, 한 번에 최대 4 개의 그라인딩 헤드 (grinding head) 와 이중 축 랩핑 헤드 (lapping head) 로 구성 할 수 있으므로 여러 응용 프로그램에 매우 다용도 할 수 있습니다. EBARA FREX300S는 또한 추가 그라인딩 헤드 (Grinding Head), 랩핑 헤드 (Lapping Head) 및 전용 연마 헤드 (Polishing Head) 와 같은 다양한 옵션을 제공합니다. F-REX300S는 견고하고 단단한 캐스트 (rigid-cast) 구성 설계를 특징으로하며, 이를 통해 빠른 속도로 일관되고 정밀한 처리를 수행할 수 있습니다. 이것은 최대 정확도, 효율성 및 반복 가능성을 위해 웨이퍼 정렬, 로드 및 언로드를 처리하는 완전 자동 웨이퍼 처리 도구 (Full Automatic Wafer Handling Tool) 에 의해 추가됩니다. 이 자산은 또한 탄화 실리콘 (silicon carbide) 에서 다이아몬드 (diamond), 3 ~ 100m까지의 연마재로 광범위한 연삭 및 연마 미디어를 제공하여 특정 요구 사항을 충족시키는 유연한 옵션을 제공합니다. 이 모델에는 고정밀 서보 모터 컨트롤 (HP) 및 디지털 데이터 피드백 (Digital Data Feedback) 이 장착되어 있어 최고 속도로 안정적이고 정확한 연삭 및 연마 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, "그라인딩 '과 연마 과정 을 최적화 하는 데 도움 이 되는, 믿을 만한 냉각 장치 도 갖추어져 있다. 마지막으로, FREX-300S는 사용자 친화적 인 인터페이스와 모듈식 레이아웃을 제공하여 반도체, MEMS 및 광학 산업의 모든 웨이퍼 그라인딩 및 연마 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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