판매용 중고 EBARA Frex 300S #9225525

EBARA Frex 300S는 최대 효율성과 우수한 결과를 제공하기 위해 설계된 완전 자동화 된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 일련의 연삭, 랩핑, 연마 프로세스를 통해 광범위한 단면 및 다면 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. EBARA FREX300S에는 통합 감지 기술 (예: 올바른 그라인딩 매개변수를 통해 사용자를 안내하는 wafer 기능 자동 검색, 찾기 및 측정) 이 있습니다. 청결과 안전을 위해 설계된 이 장치는 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 과 플라스틱 하우징 (Plastic Housing) 으로 둘러싸여 있습니다. 이 디자인은 먼지, 공기 입자 및 기타 오염 물질로부터 보호합니다. 모든 액세스 포인트에는 입자와 입자의 시각적 제어를 위해 공기 필터 (air filter) 와 거울 (mirror) 이 장착되어 있습니다. 기계가 제대로 작동하는지 확인하기 위해 주택에는 내부 압력 트랜스듀서 (internal pressure transducer) 와 대기 압력 센서 (atmospheric pressure sensor) 가 들어 있습니다. F-REX300S는 정적 (static) 및 동적 (dynamic) 컴포넌트가 조합된 모듈식 도구를 사용합니다. 이를 통해 자산은 50mm에서 400mm까지의 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있습니다. 모델의 정적 구성 요소에는 베이스 및 프레임, 탱크, 급수 및 펌프, 압력 제어 장비가 포함됩니다. 동적 컴포넌트는 고속 모터, 서보 모터, 센서 및 광학 시스템, 모니터링 및 제어 컴퓨터, 사용자 인터페이스로 구성됩니다. 이 설계를 통해 사용자는 다양한 그라인딩, 랩핑, 연마 옵션 중에서 선택할 수 있습니다. 연삭 과정 에는 작은 회전 "다이아몬드 '원반 이 포함 되는데, 이 원반 은" 웨이퍼' 표면 에 적용 되어 표면 의 불규칙성 을 제거 하고 연속적 인 과정 에 대비 한다. "래핑 '과 연마 는 연마제 와" 다이아몬드' "웨이퍼 '연마" 패드' 의 조합 을 사용 하여 "웨이퍼 '표면 에도 적용 할 수 있다. 사용자는 통합 모니터링 (monitoring) 및 제어 (control) 시스템을 사용하여 프로세스를 사용자 정의하고 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이 시스템을 사용하면 EBARA F REX 300 S 가 제공하는 최고 품질의 고정밀 결과를 얻을 수 있습니다.