판매용 중고 EBARA Frex 300S #9137374
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판매
ID: 9137374
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
System, 12"
EFEM:
(3) Asyst load ports
Dry robot
(4) Topring
Dresser:
(4) Disk type: Paradium coating
(4) Holder type: SEASOL (Magnetic)
(4) Type: Scan disk
Table:
(4) Material: Stainless steel
(4) Surfaces: Lapping
(4) YASKAWA Motors
Power supply: 3 Phase
2005 vintage.
EBARA Frex 300S는 마이크로 일렉트로닉 장치 제조에 사용하도록 설계된 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 다양한 산업에서 사용되는 MEMS, 센서, 광학 구성 요소를 포함하여 반도체 장치 연마 (Semiconductor device polishing) 와 같은 응용 분야를 대상으로합니다. EBARA FREX300S는 뛰어난 표면 마무리, 임계 크기 및 더 많은 반복 성을 제공 할 수있는 자동 프로세스를 통해 정확한 제어를 제공합니다. F-REX300S는 웨이퍼 (wafer) 용 정확한 포지셔닝 드라이브를 갖춘 4 필러 디자인 선형 모터 구동 테이블로 만든 프레임을 갖추고 있습니다. 강력한 45DFC-S 연마 모터가 장착되어 있으며 웨이퍼 로딩 및 언로딩을위한 매개 변수가있는 제어 연삭 및 연마 공정이 있습니다. 그것 은 몇 "마이크로 미터 '수준 의 연삭 정확도 를 가지고 있으며 2 내지 8" 인치' 의 연삭 과 "랩 '을 할 수 있다. Frex 300S는 로터리 그라인딩, 프리 그라인딩, 다이아몬드 그라인딩, 저력 연마 등의 다양한 연삭 및 연마 모드를 할 수 있습니다. 오목한 얼굴, 멀티 레이어, 다이아몬드 기반 랩핑, 전기 도금 롤 랩핑 등 여러 사용자 정의 그라인딩 및 연마 첨부 파일이 제공됩니다. 프로세스 내 제어 장치를 통해 운영자는 실시간으로 웨이퍼 마무리를 볼 수 있으며 유압 힘, rpm, 연마 시간 등의 매개 변수를 모니터링할 수 있습니다. 직관적인 그래픽 터치 스크린 인터페이스를 통해 모든 작업, 프로세스, 조정을 수행할 수 있으므로 FREX-300 S 는 사용자 친화적입니다. 데이터 획득 및 분석 시스템 (Data Acquisition and Analysis Machine) 이 장착되어 있어 프로세스를 보다 효율적으로 제어하고 부품 추적 및 문서화를 개선할 수 있습니다. 이 도구는 Procios 기술을 통해 멀티 태스킹 응용 프로그램을 사용할 수 있으며, 한 번에 최대 10 개의 웨이퍼를 동시에 연삭, 연마 및 검사할 수 있습니다. FREX300S는 고급적이고 효율적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 자산으로, 사용자 편의뿐만 아니라 뛰어난 품질 (quality) 을 제공합니다. 자동화되고 프로그래밍이 가능한 기능, 첨단 기술, 직관적인 제어 모델을 통해, 이 장비는 다양한 업종을 위한 탁월한 wafer (웨이퍼) 구성 요소를 효과적이고 안정적으로 생산할 수 있습니다.
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