판매용 중고 EBARA Frex 300S #293625791

ID: 293625791
빈티지: 2008
CMP System Process: Tungsten 2008 vintage.
EBARA Frex 300S는 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 멀티 크리스탈, 멀티 레벨 및 맞춤형 패턴 형태의 반도체 웨이퍼를 생산할 수있는 완전 자동화 된 CNC 제어 시스템입니다. 이 장치에는 6 축 모션 머신, 디지털 비디오 현미경, 폐쇄 루프 위치 및 압력 서보, 정밀 엔드 이펙터가있는 특수 로봇 암이 장착되어 있습니다. EBARA FREX300S는 높은 수준의 원형, 표면 평평함 및 웨이퍼 두께 정확도를 유지하도록 설계되었습니다. 이 도구는 조정 가능한 압력과 이송 제어 (feed control) 를 갖춘 연마식 미디어 그라인딩/연마 헤드를 특징으로하며, 작동 프로세스 매개변수를 가장 잘 제어합니다. 로봇 암 (robotic arm) 은 연삭 과정에서 웨이퍼를 정확하게 배치 및 처리 할 수 있습니다. F-REX300S는 또한 고도의 연마 정확성을 보장하는 고급 랩핑 프로세스를 제공합니다. 이 과정 은 "웨이퍼 '를 초기 모양 으로 저장 한 다음" 와이퍼' 를 완성 한 크기 로 연마 하는 것 과 관련 이 있다. 이 과정의 단계는 연삭/연마 헤드 (grinding/polishing head) 의 원형 움직임에 의해 수행되며 벨트 그라인더는 고정밀 마무리를 제공합니다. EBARA FREX-300 S는 뛰어난 표면 마무리 품질과 웨이퍼 균일성을 제공합니다. 여기에는 표면 품질, 입자 분석 및 모양 프로파일을 모니터링하기 위한 디지털 비디오 현미경 (digital video microscope) 과 분광계 (spectrometer) 가 장착되어 있습니다. 자산은 또한 다양한 유형의 연마 화합물 및 다이아몬드 등급 서스펜션 슬러리와 호환됩니다. 전반적으로 EBARA FREX 300 S는 반도체 제조 공정의 결함 비율을 최소화하는 데 필수적인 높은 수준의 자동화, 정확도 및 웨이퍼 품질 제어를 제공합니다. 에프 렉스 300 S (F REX 300 S) 는 첨단 그라인딩 (Grinding) 과 랩핑 (Lapping) 기술을 결합한 고품질 반도체 웨이퍼 개발 및 제조 분야에서 검증된 업계 선두주자입니다.
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