판매용 중고 EBARA Frex 300S #293592001
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EBARA Frex 300S (EBARA Frex 300S) 는 반도체 산업의 높은 정밀 요구를 충족시키기 위해 설계된 기술적으로 진보 된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 고정밀 랩핑, 미세 연마, 극도로 평평한 실리콘 웨이퍼를 생산하는 데 이상적입니다. 이 장치에는 독특한 3 축 선형 모터 스테이지와 통합 CNC 동작 제어 스핀들이 있습니다. 이 고급 조합을 통해 EBARA FREX300S는 정확성과 반복 가능성이 높은 그라인드, 랩 및 폴링 웨이퍼를 사용할 수 있습니다. 이 기계는 또한 플러터 (flutter) 를 줄이고 동작 제어의 속도, 정확도, 반복성을 높이도록 설계된 고정밀도, 힘 제어 롱 스트로크 스핀들 (Long Stroke spindle) 을 갖추고 있습니다. F-REX300S 는 정밀 모터 스테이지 외에도 유연하고 모듈식 (modular) 설계를 통해 효율적인 처리를 보장합니다. 이 도구는 다양한 고밀도 서피스 마무리 (high-precision surfish finish) 로 웨이퍼를 생산할 수있는 다양한 가용 처리 모듈을 사용합니다. 3축 구성과 결합된 우수한 스핀들 (spindle) 설계를 통해 처리 시간이 길어지고 전체 표면 평탄도가 향상됩니다. EBARA FREX-300S는 또한 다양한 기판에 유연한 랩핑 및 연마 솔루션을 제공합니다. 자산의 다양한 처리 기능을 통해 랩핑 (lapping) 및 폴링 (polishing) 프로세스를 모든 애플리케이션에 맞게 조정할 수 있습니다. 호환되는 범위의 소모품, 특수화된 프로세스 (specialized process) 및 사용 가능한 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 통해 사용자는 모든 응용 프로그램에 효과적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다. 다양한 안전 기능을 통해 FREX-300 S는 까다로운 반도체 처리 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 이 모델은 엄격한 안전 기준 (Safety Standard) 을 완벽하게 준수하여 장비가 안전하고 신뢰성을 보장합니다. 통합 안전 시스템/모니터 장치 (Integrated Safety System & Monitor Unit) 는 또한 시스템 성능을 모니터링하고 잠재적인 문제를 사용자에게 알립니다. 요약하자면, FREX300S는 기술적으로 진보된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 다듬기 툴로서, 까다로운 반도체 랩핑 및 다듬기 어플리케이션을 위한 고정밀 성능을 제공합니다. 자산의 독특한 3 축 선형 모터 스테이지 및 통합, CNC 동작 제어 스핀들을 사용하면 모델이 매우 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 유연하고 모듈식 (Flexible) 설계와 다양한 프로세스 매개변수 (Process Parameter) 및 소모품은 사용자가 모든 애플리케이션에 맞게 장비를 조정할 수 있도록 합니다. 안전하고 안정적인 운영을 보장하는 안전 기능과 함께, EBARA F REX 300 S는 까다로운 랩핑 및 다듬기에 이상적인 플랫폼입니다.
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