판매용 중고 EBARA Frex 300S #293591998

EBARA Frex 300S는 세라믹 및 크리스탈 재료의 정밀 머시닝을 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. '신뢰성 있고 반복 가능한' 결과를 제공하는 '처리 시간 단축' 을 통해 대용량 고급 구성요소를 제조하는 데 이상적인 '운영 시스템' 이 될 수 있습니다. 이 장치는 모듈 (modular) 구성을 특징으로하며, 이 모듈을 구성하여 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 구성할 수 있습니다. 주요 구성 요소에는 웨이퍼 캐리어, 턴테이블, 랩핑 플레이트 2 개, 연마 패드 및 서보 제어 드라이브 머신이 포함됩니다. 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 는 연삭 및 랩핑 프로세스 동안 웨이퍼를 단단히 고정하고 배치하도록 설계되었습니다. 열팽창이 높은 물질을 연마할 때 "내열 방지 시트 (heat-resistive protective sheet) '를 장착했다. 또한, 장기간 운영 (operation) 하는 동안에도 효과를 유지하도록 강력한 설계를 갖추고 있습니다. 턴테이블은 접지와 랩으로 웨이퍼를 회전시킵니다. 구동 벨트에 연결된 강력한 모터 (power motor) 로 구성되어 턴테이블이 0.7 ~ 2000 rpm의 속도로 회전할 수 있습니다. 턴테이블은 웨이퍼 (wafer) 의 크기를 수용하고 머시닝 중 균일 한 동작을 제공하도록 조정할 수 있습니다. 2 개의 랩핑 플레이트는 웨이퍼를 갈아서 랩하도록 설계되었습니다. "랩핑 '판 은 여러 가지 재료 로 사용 할 수 있으며, 따라서 가공 하는 재료 에 적합 할 수 있다. 판은 고급 알루미늄 합금으로 만들어졌으며, 최대 35MPa의 높은 압력을 견딜 수 있습니다. 연마 패드는 웨이퍼 재료를 미세한 마무리로 닦는 데 사용됩니다. 커다란 하중을 받아들이고 고광택 마무리 (high-gloss finish) 를 제공 할 수있는 매끄럽고 스크래치 내성 표면으로 구성됩니다. 마지막으로, 서보 제어 드라이브 도구 (servo-controlled drive tool) 는 머시닝 프로세스를 정확하게 제어하여 머시닝 매개변수가 원하는 정밀도 레벨 내에 있는지 확인합니다. 에셋에는 서보 제어 온도 보상 모델 (servo-controlled temperation compensation model) 도 포함되어 있으며, 이 모델은 재료 온도에 대응하여 작동 매개변수를 자동으로 조정합니다. 요약하면, EBARA FREX300S는 다양하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 처리 시간이 짧고 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 모듈식 (modular) 구성을 통해 광범위한 어플리케이션에 적합하며, 장기적인 신뢰성을 위한 견고한 기계식 (mechanical) 아키텍처를 갖추고 있습니다.