판매용 중고 EBARA Frex 300e #293742057
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 293742057
빈티지: 2006
CMP System
Dual module system
High throughput
Dry in / out system
Single head
2006 vintage.
EBARA Frex 300E Wafer Grinding, Lapping & Polishing Equipment는 대량의 웨이퍼 및 관련 구성 요소 생산을 위해 설계된 전용 고정밀 시스템입니다. 이 장치는 하나의 통합, 자동 프로세스 내에서 최고의 품질, 정밀 연삭, 랩핑, 연마 작업을 가능하게 합니다. Frex 300E는 중앙 컨트롤러 장치와 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계의 두 부분으로 구성됩니다. 중앙 컨트롤러 장치에는 PLC 머신 (PLC machine) 과 사용자 친화적 제어판 (Control Panel) 이 장착되어 있어 모든 매개변수에 대한 전체 프로세스 제어 및 실시간 모니터링이 가능합니다. 또한 시스템 (machine) 을 효율적으로 계산하고 매개변수를 처리하여 최대의 효과와 일관성을 보장하는 정교한 알고리즘이 포함되어 있습니다. 공구 내에 장착 된 연삭, 랩핑 및 연마 기계는 다이아몬드와 알루미나 연마제 (alumina alrasive media) 를 활용하여 정확한 0.7nm 마무리를 보장하기 위해 최대 300äm의 연삭 작업을 수행 할 수 있습니다. 기계는 300mm 범위의 동작과 조절 가능한 스핀들 속도 (최대 8,000rpm) 로 제작되었습니다. 따라서 시간당 최대 600 개의 웨이퍼를 처리 할 때 인상적인 성능을 제공합니다. 모든 기계는 또한 역류 (reverse flow) 기능으로 설계되어 랩핑 플레이트가 웨이퍼 (wafer) 의 반대 방향으로 이동할 수 있으며, 코팅 손상 (coating damage) 을 줄인 랩핑 프로세스의 영향을 극대화합니다. EBARA Frex 300E에는 여러 가지 주요 안전 및 유지 보수 기능도 제공됩니다. 비상시 즉시 프로세스 종료를위한 비상 정지 스위치 (Emergency Stop Switch) 가 포함되어 있으며, 물 재활용 자산은 물 소비 및 폐기물 처리를 크게 줄입니다. 통합 비디오 모니터링 모델 (Integral Video Monitoring Model) 은 프로세스 정확성을 보장하며 완료하기 전에 오류를 감지하고 수정할 수 있습니다. 모든 연삭, 랩핑 및 연마 기계는 또한 고온 차단 및 냉각수 누출 감지 기능으로 설계되었습니다. 전반적으로 Frex 300E Wafer Grinding, Lapping & Polishing Equipment는 웨이퍼 및 관련 구성 요소의 대량 생산에 이상적인 솔루션입니다. 고급 자동화, 정교한 알고리즘, 고정밀 그라인딩, 랩핑, 다듬기 기능, 견고한 안전 및 유지 관리 기능, 생산성 향상 (Production Efficiency and Output) 을 원하는 기업을 위한 최고의 선택입니다.
아직 리뷰가 없습니다