판매용 중고 EBARA Frex 300 #9390393

EBARA Frex 300은 결함이 없고, 정밀하며, 균일 한 웨이퍼 준비를 수행하도록 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템의 혁신적인 기술은 정밀 연삭 (precision grinding), 저손상 웨이퍼 컨디셔닝 (low-damage wafer conditioning) 을 결합하여 표면 균일성을 향상시키고 다른 처리 단계와의 간단한 통합을 제공합니다. 고급 프로세스 제어 (advanced process control) 및 적응형 경계 제어 (adaptive boundary control) 기술을 활용하여 웨이퍼 컨디셔닝 프로세스의 총 주기 시간을 크게 단축합니다. EBARA FREX-300에는 0.25õm 단축 단계, 닫힌 루프 제어, 3 점 지원, 고급 진공 기계 등이 장착되어 있습니다. 이를 통해 고정밀도 및 고정밀도 표면 연마가 가능하며, 향상된 웨이퍼 오프라인 배치 및 공정 반복성도 제공합니다. 또한, 이 도구는 적응 형 그라인딩, 랩핑 및 연마 모듈을 사용하여 다단계 프로세스에 대해 자동화 될 수 있습니다. 자산의 주요 구성 요소에는 연삭 및 랩핑 헤드, 연마 헤드, 2 개의 수동 및 2 개의 전동 회전 단계, 연마 필름, 플래튼 및 연마 솔루션이 포함됩니다. 연삭 및 연마 헤드와 2 개의 수동 및 2 개의 동력 회전 단계 (Motorized Rotational Stage) 를 결합하여 모델은 파퍼에 연마 필름, 플래튼 및 광택 용액을 동시에 적용할 수 있습니다. 이는 총 주기 시간을 최소화하고 균등하고 정확도가 높은 고정밀 컨디셔닝을 보장합니다. F-REX300은 또한 독특한 적응 경계 제어 모듈을 갖추고 있습니다. 이 모듈은 웨이퍼 처리 조건에 따라 연삭 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 창의 한계를 동적으로 조정하여 총 주기 시간을 효과적으로 단축합니다. 이를 통해 저손상 웨이퍼 컨디셔닝, 높은 공정 반복성 및 신뢰할 수있는 웨이퍼 오프라인 배치가 보장됩니다. 장비는 에칭, 저항 제거, 코팅, 리소그래피 등 다양한 산업 공정에 통합 될 수 있습니다. 이 모든 프로세스는 Frex 300을 사용하여 쉽게 구현 할 수 있습니다. 또한, adaptive boundary-control module 은 프로세스 경계를 제어하기 위해 소프트웨어를 프로그래밍하여 사용자에게 완전한 automated process automation 을 제공할 수 있습니다. EBARA F-REX300 (EBARA F-REX300) 은 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템으로, 공정 자동화를 제공하면서 매우 정확하고 뛰어난 표면 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 적응 식 경계 제어 모듈은 주기 시간과 프로세스 난이도를 모두 줄이고, 웨이퍼 컨디셔닝을 추가로 최적화합니다. 프로세스 제한 조정에서 여러 프로세스 제어에 이르기까지, FREX-300 은 업계 최고 수준의 안정적인 결과를 원하는 사용자에게 적합한 툴입니다.