판매용 중고 EBARA Frex 300 #9252531

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EBARA Frex 300
판매
ID: 9252531
웨이퍼 크기: 12"
CMP System, 12".
EBARA Frex 300은 고급 반도체 산업의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 고성능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 다듬기 장비입니다. 강력한 모션 유닛 (motion unit), 고급 제어 소프트웨어 (advanced control software) 및 다양한 정교한 랩핑 및 연마 액세서리와 통합된 최첨단 그라인딩 헤드 (grinding head) 를 포함하여 정확하고 신뢰할 수있는 시스템입니다. EBARA FREX-300의 그라인딩 헤드 (grinding head) 에는 독점 금속 본드 다이아몬드 그라인딩 휠 (grinding wheel) 이 장착되어 있으며, 표면 품질, 정확도 및 처리량이 뛰어난 단일 단계 그라인딩 작업을 수행 할 수 있습니다. 이 바퀴는 다양한 크기와 유형의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 다른 웨이퍼 두께 (wafer thickness) 를 수용하기 위해 간격 크기 조정 (gap size) 을 사용할 수 있습니다. 그라인딩 헤드는 또한 세로로 집적 된 서보 (servo) 및 회전 축 (rotary axes) 을 제공하여 매우 정확한 조정을 가능하게하며, 동작에 대한 미세 조율을위한 5 축 드라이브 머신을 갖추고 있습니다. F-REX300 의 통합 고급 소프트웨어 (Integrated Advanced Software) 를 사용하면 정교한 주기 계획 및 프로세스 설정을 사용할 수 있으며, 이 설정을 조정하고 저장할 수 있습니다. 이를 통해 다양한 응용 분야에 광범위한 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 레시피를 사용할 수 있으며, 이를 통해 운영자는 특정 응용 분야에 대한 최상의 선택을 찾을 수 있습니다. 에셋은 또한 연삭 및 연마 과정이 일관되게 유지되도록 PLC 기반 제어 모델을 갖추고 있습니다. 또한 F-REX 300에는 미세 연마 작업을 수행 할 수있는 랩핑 및 연마 액세서리 제품군이 있습니다. 이 액세서리에는 다양한 곡물 크기와 마무리를 달성하기 위해 사용할 수있는 다양한 연마 폼 (foam), 펠트 (felt) 및 종이 (paper) 가 포함됩니다. 또한이 장비에는 다이아몬드 슬러리 주입 시스템 (diamond slurry injection system) 과 정밀 연삭, 랩핑 및 연마 작업을 용이하게하기위한 복합 디스펜서 (compound dispenser) 가 포함됩니다. 결론적으로, Frex 300은 강력하고 다재다능한 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치이며, 고급 반도체 재료 및 구성 요소에 대한 정확성, 처리량 및 반복 성을 제공합니다. 종합적인 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 액세서리는 업계에서 상당한 우위를 차지하여 최적의 표면 마무리로 매우 정확한 결과를 얻을 수 있습니다.
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