판매용 중고 EBARA Frex 300 #9224087
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판매
ID: 9224087
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
CMP System, 12"
Factory interface (FI)
Frame config: Metro
Polisher (L/R):
Polishing heads: 300mm AL Head, Gen. II
Endpoint: TCM & Friction
Platen type: Ceramic (SIC)
Platen speed: 10-150 RPM
Platen pad conditioner:
Scan dresser disc, 4”
Sweep driven
Slurry delivery: CLC Delivery
Slurry line 1: ASAHI 25-250 ml/min (Low flow rate)
Platen cooling flow monitor: TOKYO KEISO
Platen cooling temp monitor: User configurable alarm settings
Dresser DIW flow meter: Flow range 1.0-1.5 L/min
Atomizer
Cleaner:
Cleaner 1 type: Roller brush
Chemical delivery type: Chemical CLC 0.0-1.0 L/min (Alarm capability)
Chemical 1 Upper flow meter: 0.0-1.0 L/min
Chemical 1 Lower flow meter: 0.0-1.0 L/min
Spin rinse drier: Pencil brush
Chemical delivery type: Chemical CLC 0.0-1.0 L/min (Alarm capability)
Options:
Robot D / R / L: YASKAWA
Status lamp (RYGB, Front / Rear)
Monitor 1: Front
Monitor 2: Left side
Monitor 3: Right side
EPD Monitor: Right side
Communication:
Controller (Logic): VME
Controller (Process database): Touch panel
Hard disk not included
2004 vintage.
EBARA Frex 300은 전자 산업을위한 얇고 평평한 웨이퍼 생산에 사용되는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 고급 CNC 기술을 사용하여 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스를 정확하게 제어합니다. 그 과정 의 첫 단계 는 "웨이퍼 '를 연삭 하는 것 인데, 그것 은" 랩 휠' 로 수행 된다. 랩 휠은 고정밀 스테퍼 모터 (stepper motor) 에 의해 구동되며, 이를 통해 매우 정밀한 그라인딩 레벨이 가능합니다. 두 번째 단계 는 "웨이퍼 '의" 랩핑' 인데, 그것 은 "랩핑 '판 이 달린 공 으로 이루어진다. 랩핑 프로세스의 속도와 압력은 정교한 서보 제어 장치 (servo-control unit) 에 의해 제어되며, 이를 통해 최적의 품질로 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 세 번째이자 마지막 단계는 웨이퍼 (wafer) 의 연마이며, 다이아몬드 연마 패드로 수행됩니다. 다이아몬드 연마 패드는 브러시리스 (brushless) DC 모터에 의해 구동되며, 이를 통해 반자동 연마 공정이 가능합니다. 모터는 공정 효율을 높이고 고품질 마무리 (finish) 를 제공하도록 설계되었습니다. 기계 에는 시력 도구 가 장착 되어 있는데, 시력 도구 는 "웨이퍼 '의 모양 과 끝 을 확인 하는 데 사용 된다. 비전 에셋은 정밀 CNC 모션 컨트롤 모델 (motion control model) 과 통합되어 웨이퍼를 매우 정확하게 조작 할 수 있습니다. CNC 장비는 또한 연삭 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 프로세스의 속도를 조정하여 원하는 결과가 달성되도록 할 수 있습니다. EBARA FREX-300은 안전하고 효율적이며 최소 운영자 개입으로 작동하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 전자식 연동 도어, 비상 정지 버튼, 정교한 기계 모니터링 시스템 등 여러 가지 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 장치에는 또한 고정밀 스테퍼 모터, 강력한 브러시리스 (brushless) DC 모터, 정밀 CNC 동작 제어 시스템 등 최적의 성능을 보장하는 다양한 기능이 장착되어 있습니다. F-REX300 은 또한 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하여 운영자가 필요에 따라 설정을 손쉽게 조정하고 세밀하게 조정할 수 있습니다.
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