판매용 중고 EBARA Frex 300 #9212102
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ID: 9212102
CMP System
Qty Part description
(1) Cl1-l drain pipe
(1) Cl1-r drain pipe
(1) Cl2-r drain pipe
(1) Sponge holder assy (c)
(1) Sponge holder assy (d)
(4) Rubber seats
(4) Cross recessed head machine screws m2x8
(8) Cross recessed head screws m3x8
(4) Cross-recessed head screws m3x8
(4) Cross recessed head screws m3x8
(12) Cross recessed head screws m3x10
(14) Cross recessed head screws m3x16
(8) Cross recessed head screws m3x20
(4) Cross-recessed machine head screws m3x30
(4) Cross-recessed head screws m4x8
(4) Cross recessed head screws m4x10
(10) Cross recessed head screws m4x12
(6) Cross recessed head screws m4x15
(4) Cross recessed head screws m4x16
(6) Cross recessed head screws m4x25
(8) Cross recessed head screws m5x16
(4) Cross recessed head screws m6x15
(4) Cross recessed machine head screws m3x6
(8) Cross recessed head screws m3x8
(18) Cross recessed head screws m4x8
(3) Cross recessed head machine screws m4x10
(2) Hexagon socket headless set screws m3x5
(1) Hexagon socket set screw m4x10
(1) Hexagon socket headless set screw m5x6
(12) Cross hole truss small screws m3x4
(12) Cross recessed truss head screws m3x6
(14) Cross recessed truss head screws m3x10
(17) Cross-recessed truss head screws m4x6
(4) Cross recessed truss head screws m4x8
(20) Cross recessed truss head screws m4x10
(8) Cross recessed truss head screws m5x8
(9) Cross recessed truss head screws m5x10
(1) Joint bolt, roll
(8) Hexagon socket head cap screws m3x4
(9) Hexagon socket head cap screws m3x8
(12) Hexagonagon socket head cap screws m3x10
(1) Hexagon socket head cap screw m3x16
(6) Hexagon socket head cap screws m3x20
(2) Hexagon socket head cap screws m3x25
(4) Hexagon socket head cap screws m4x6
(22) Hexagon socket head cap screws m4x8
(11) Hexagon socket head cap screws m4x10
(4) Hexagon socket head cap screws m4x12
(24) Hexagon socket head cap screws m4x16
(1) Hexagon socket head cap screw m4x25
(8) Hexagon socket head cap screw m5x8
(2) Hexagon socket head cap screw m5x14
(32) Hexagon socket head cap screw m5x16
(2) Hexagon socket head cap screw m5x25
(3) Hexagon socket head cap screw m6x10
(14) Hexagon socket head cap screw m6x20
(4) Hexagon head bolt m4x10
(10) Hexagon head bolt m4x25
(2) Hexagon head bolt m5x10
(2) Hexagon head bolt m6x30
(3) Sp bolt
(1) Nut, cleaning arm (d)
(1) Nut, cleaning arm (c)
(2) Plate nut 300
(22) Plain washer m3
(35) Plain washer m4
(32) Plain washer m5
(1) Washer
(2) Weight case washer
(1) Washer
(2) Spring pin
(2) Spring pin 3x8
(2) Spring pin 4x12
(2) Pivot shaft
(1) Shaft
(1) Shaft, roll
(1) Parallel key 3x3x10
(1) Coupling
(2) Ball bearing
(1) Bearing ss6800zz
(4) Ceramic bearing, 6800
(2) Beariing (7000st)
(1) Timing belt
(2) Spring, nozzle, roll
(3) Spring
(2) O-ring p12
(1) O-ring p20
(1) O-ring g730
(12) O-ring s4
(5) O-ring s7
(2) O-ring s16
(1) O-ring s20
(2) O-ring s22
(1) O-ring s32
(1) O-ring s75
(1) O-ring s95
(1) O-ring s270
(1) O-ring s290
(3) O-ring as568a-216
(1) O-ring as568-#022
(1) Gasket, cover
(2) Gasket, d pan
(1) Seal assy
(1) Balance weight (ur)
(1) Cylinder
(1) Cylinder
(2) Handle
(2) Center nozzle
(4) Nozzle
(3) Latch
(3) Air cylinder
(1) Pfa tube
(1) Soft nylon tube
(4) Pliant tube (2)
(1) Joint (j) drain
(2) Pfa tube (4x3)
(5) Pvc saddle
(3) Ts-saddle 20a
(1) Reducing union tee adapter
(1) Piping adapter set
(2) Piping adapter l type
(4) Elbow union
(1) Elbow union
(1) Male elbow
(6) Union elbow
(8) Union elbow
(6) Union elbow
(8) Union elbow
(8) Reducing union elbow
(1) Quick connector socket
(1) Male branch tee
(1) Plug
(13) Plug
(12) Plug, seal retainer, w.r.
(2) Union
(1) Reducing union
(8) Half union
(1) Tube flange
(1) Flange (1), bellows
(1) Flange (2) bellows
(1) Air operated valve
(1) Air operated valve
(1) Block manifold (l)
(4) Speed control
(3) Regulator
(2) Regulator
(4) Block (2)
(1) Chuck arm (1)
(1) Chuck arm (2)
(1) Arm, ur
(2) Guide (1)
(1) Front cover (upper) 300
(1) Protector frame (l1)
(1) Bearing cover
(1) Belt cover
(1) Cable cover
(1) Cover, arm, ur
(2) Collar, brg (d10x5), rol.
(2) Collar, brg (d19x5), rol.
(1) Collar
(1) Collar, roll
(1) Collar, spd
(1) Cap
(1) Sco cap
(1) Bearing clamp
(1) Connector clamp
(3) Tube, clamp, drain
(1) Bearing case (1)
(1) Bearing case (2)
(1) Case, center nozzle, ur
(4) Chuck piece
(4) Saddle, tube and cable, catm
(3) Saddle, tube, arm
(2) Support, center nozzle, roll
(1) Pipe support (l)
(3) Hose support, chem
(2) Sco shim
(2) Sco shim
(2) Sco shim
(2) Sco shim
(1) Bellows, upper roll
(1) Block stage
(2) Stopper
(1) Plate, washer, arm
(4) Daistad
(1) Table assy
(1) Drain pan (j)
(2) Dry hand (1) 300
(1) Bracket
(1) Bracket (1) r
(3) Bracket (1)
(2) Weight case bracket
(1) Shaft bracket, ur
(1) Flange, seal, roll
(1) Motor bracket
(1) D/r plate
(2) Seal plate l1
(1) Seal plate l2-r
(1) Seal plate l2-l
(1) Plate, chem
(1) Sco plate
(1) Rod block
(1) Pipe block
(1) Base, loadcell, ur
(2) Holder, center nozzle, roll
(1) Holder (1), motor bracket
(4) Tube holder chem
(2) Holder, cable, arm
(1) Holder, seal, roll
(1) Rod end
(3) Sp washer
(1) Drive center
(2) Clip (ar19)
(2) Clip (wr10)
(6) Joiner set
(1) Pivot channel
(1) Screw, cleaning arm (d)
(1) Screw, cleaning arm (c)
(1) Tvme 3903v
(1) Tvme 3902v
(2) Uniwire board
(1) Amplifier
(1) Driver, sgdm-01bda
(1) Vacuum sensor amp
(1) Driver, sgdm-08ada
(1) Ac servo
(2) Controller mc001-tk
(1) Pressure sensor
(1) Fiber unit
(1) Power unit, digital epw-002
(1) Driver, asd13c-a
(1) Driver, asd13c-a
(2) Driver, asd13a-a
(1) Ac servo motor
(1) Ac servo motor
(1) Uni wire end unit
(1) Digital pressure monitor
(1) Load cell
(1) Flow meter
(1) Power terminal
(2) D/a converter
(1) Sticker
(1) Sticker
(2) Lamp, fluorescent, polisher
(1) Lamp, fluorescent, mini enviornment
(2) Glow lamp igniter
(2) Lamp, fluorescent, cleaner
Pins and connectors:
(100) / Connector pins (m) awg 26-20
(100) / Connector pins (m) awg 20-16
(100) / Connector pins (f) awg 26-20
(100) / Connector pins (f) awg 20-16
(20) 2 Pins, receptacle, elr-02v
(16) 3 Pins, receptacle, elr-03v
(20) 4 Pins, receptacle,elr-04v
(6) 6 Pins, receptacle, elr-06v
(24) 2 Pins, receptacle, elp-02v
(16) 3 Pins, receptacle, elp-03v
(20) 4 Pins, receptacle,elp-04v
(6) 6 Pins, receptacle, elp-06v.
EBARA Frex 300은 반도체 웨이퍼를 완성하고 닦는 데 사용되는 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 높은 정확성과 반복성을 제공하도록 설계되었으며, 연구 개발 실험실 (Research and Development Laboratories) 에 사용하기에 적합합니다. EBARA FREX-300은 플랫 웨이퍼 랩핑 및 연마 용 정밀 기계입니다. 시료를 크기에 따라 수평 또는 수직으로 처리 할 수 있도록 0 ~ 45도 (0 ~ 45도) 에 각도 인 플랫 가공소재 베드 (flat workpiece bed) 가 있습니다. 이 기계는 또한 독특한 2 위치 더블 마이크로 랩핑/연마 플레이트 시스템을 사용하여 짝수 및 균일 한 처리를 보장합니다. 또한 처리 중 샘플 동작을 방지하기 위해 디지털로 제어되는 in-situ 샘플 홀더가 있습니다. F-REX300은 유연하고 안전하며 정확한 작동을 위해 설계되었습니다. 연삭, 랩, 연마 등 프로세스 매개 변수에 대해 총 10 개의 제어 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 이 장치는 데이터 수집 (Data Processing) 플랫폼에 연결되어 프로세스 중 성능 매개변수 (Performance Parameter) 를 데이터 입수 및 분석합니다. EBARA F-REX300에는 완전 자동화 된 샘플 처리 머신 (전체 머신의 필수 부분) 도 있습니다. 컴퓨터 제어 이동식 로더 (movable loader) 가 특징이며, 최소 감독 및 사용자 개입으로 시스템에서 샘플을 로드 및 언로드할 수 있습니다. "웨이퍼 '를" 로더' 로 이동 시키기 위한 표본 수송 도구 도 마련 되어 있다. FREX-300은 표면의 등방성 연마 (isotropic polishing) 를 달성하기 위해 최대 1발의 거친 편차 (roughness deviation) 를 통해 신뢰할 수있는 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 광선 연마 (light grinding) 에서 고 광택 연마 (high gloss polishing) 에 이르기까지 다양한 광택 사양으로 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한, F-REX 300은 다이아몬드 연마 또는 에칭과 같은 표준 웨이퍼 처리 시스템과 작동하도록 쉽게 통합 될 수 있습니다. 이를 통해 R&D 및 운영 환경에 이상적인 솔루션이 됩니다. EBARA는 또한 기계에 수명 주기 및 유지 관리 서비스를 제공하여 Frex 300이 최적으로 서비스를 유지합니다.
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