판매용 중고 EBARA Frex 300 #9163556

EBARA Frex 300은 EBARA Corporation에서 생산 한 자동 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 더 작은 웨이퍼 크기를 처리하기 위해 설계된 벤치 톱 머신 (bench top machine) 으로, 고객이 EBARA Group의 고급 마모 프로세스 기술을 활용할 수 있습니다. EBARA FREX-300은 뛰어난 표면 마무리와 최소 변형을 통해 발열에 민감하고 다루기 어려운 웨이퍼를 연마, 랩, 연마 할 수 있습니다. F-REX300 (F-REX300) 은 고속 및 정밀 작동을 위해 로봇 암을 갖춘 탁상 디자인을 갖추고 있습니다. "암 '은 바닥 에서 기울어져 여러 가지 재료 와" 웨이퍼' 크기 에 대한 가장 좋은 연삭 각도 를 얻을 수 있다. F-REX 300에는 대기 압력을 유지하고 공정 중 오염을 방지하는 하중 잠금 챔버 (load lock chamber) 도 포함되어 있습니다. 연삭 공정 (grinding process) 은 정밀 제어 연마제 슬러리를 사용하여 웨이퍼 표면을 원하는 표면 마무리로 갈아 넣는 밀봉 된 스테인레스 스틸 컨테이너 내에서 이루어집니다. 분쇄기 (slurry feed) 와 분쇄기 (grinding pad) 의 회전 속도를 모두 조정하여 다목적 연삭 및 연마 전략을 허용합니다. 또한, "그라인딩 '침대 의 상단 덮개 는 여러 개 의 진공" 피팅' 으로 쉽게 닫혀 장착 할 수 있다. 이렇게 하면 서피스 마무리 품질을 최대화하면서 안전한 환경을 만들 수 있습니다. 랩핑 프로세스는 랩핑 서피스가 정확하게 제어되는 닫힌 루프 시스템 (closed loop system) 내에서 수행됩니다. 이 장치는 랩핑 프로세스 후 표면 마무리에 따라 웨이퍼 (wafer) 등급을 매길 수 있습니다. 유체 제어 (fluid control) 를 사용하여 랩핑 프로세스는 단일 또는 양면 웨이퍼 연마 및 다중 랩핑 주기를 달성 할 수 있습니다. 광택 공정은 조절 가능한 유체 공급 및 용량으로 수행됩니다. 프렉스 300 (Frex 300) 은 연마 과정에서 오염을 방지하기 위해 밀봉되는 폴란드 챔버를 설계했습니다. 그것 은 또한 지표 에서 원치 않는 입자 를 제거 하기 위하여 "진공" (vacuum) 으로 혹은 그 없이도 작용 할 수 있다. EBARA F-REX 300은 뛰어난 표면 마무리 및 최소 변형을 제공하는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마를위한 이상적인 기계입니다. 고객은 혁신적인 EBARA Corporation의 고급 마비 프로세스 기술을 활용할 수 있습니다.